實驗用8kg多晶硅鑄錠爐
型號:ZT-40-16D
詳細描述:
一、研發(fā)背景
應(yīng)浙江大學(xué)硅材料國家重點實驗室要求,本公司新研發(fā)了一臺小型實驗室專用多晶硅鑄錠爐,此設(shè)備具有如下特點:
1.具有當(dāng)今市場主流鑄錠爐的一切功能,包括實現(xiàn)全自動運行。
2.具有生產(chǎn)周期短,能耗低,實驗成本節(jié)約的特點。
3.增加了部分新功能,除鑄錠以外,還實現(xiàn)部分提純功能。
二、技術(shù)參數(shù)
1.功率:40KW
2.坩堝容量:標準10英寸
3.高溫度:1550度
4.極限真空度:10-1Pa
5.保溫罩上移距離:200mm
6.爐底大位移:800mm
7.進出料方式:爐底進出
8.加熱元件:石墨管加熱
9.保護功能:除了超壓自動泄壓、漏硅聲光報警、更有的漏硅保護措施,確保操作安全。
10.常用溫度:1550℃
11.高溫度:1600℃
12.控制方式:可控硅調(diào)功+大電流變壓器
13.控溫精度:±3℃
14.石英坩堝尺寸:198×198×200mm(L×W×H)
15.鑄錠重量:2-8KG
16.保溫桶大位移:200mm
17.空爐冷態(tài)極限真空度:≤6.67×10-1Pa
18.保溫層移動速度:0.5-25mm /小時(可調(diào))
19. 空爐冷態(tài)壓升率:≤2 Pa/h