微波等離子化學(xué)氣相沉積技術(shù)（PECVD、MPCVD),通過等離子增加前驅(qū)體的反應(yīng)速率，降低反應(yīng)溫度。適合工業(yè)生產(chǎn)處理，實(shí)驗(yàn)室研究開發(fā).....
微波等離子體的#勢：
1、有較高的電離和分解程度
2.電子溫度和離子溫度對中性氣體溫度之比非常高，運(yùn)載氣體保持合適的溫度。這個特性，可使基底的溫度不會過高。
3.能在高氣壓下維持等離子體。
4.在等離子容器內(nèi)，沒有工作氣體以外的任何物質(zhì)，是潔凈的，
5.安全因素高。高壓源和等離子體發(fā)生器互相隔離，這是直流等離子體不能達(dá)到的。
微波技術(shù)參數(shù)
微波頻率：2.45GHz
微波功率：1-3KW
控制方式：PLC控制
專業(yè)生產(chǎn)廠家專研技術(shù)支持，特殊工藝要求支持定制。
微波技術(shù)參數(shù)
微波頻率：2.45GHz
微波功率：1-3KW
控制方式：PLC控制
專業(yè)生產(chǎn)廠家專研技術(shù)支持，特殊工藝要求支持定制。
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