設(shè)備簡介
我公司研制的滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個實驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。該款設(shè)備是全自動Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)（PECVD），系統(tǒng)可以實現(xiàn)連續(xù)滑動溫區(qū)，連續(xù)可控制溫度及Plasma強(qiáng)度。PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：
1、電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。
2、通過反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點，工藝流程簡單
一、前端預(yù)熱器
| 使用溫度 | 400℃ |
| 爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
| 熱電偶類型 | K型熱電偶 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 控溫方式 | 30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7”工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序，可將溫控系統(tǒng)、滑軌爐滑動（時間和距離）設(shè)定為程序控制。 |
| 加熱長度 | 100mm |
| 加熱原件 | 電阻絲 |
二、加熱爐
| 溫度 | 1200℃ |
| 使用溫度 | ≤1100℃ |
| 爐膛有效尺寸 | Φ100mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據(jù)實際需要定制。） |
| 爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
| 熱電偶類型 | K型熱電偶 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 控溫方式 | 30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7”工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序。 |
| 加熱長度 | 440mm |
| 恒溫長度 | 200mm |
| 加熱原件 | 電阻絲 |
| 供電電源 | 單相，220V，50Hz |
三、PE系統(tǒng)
| 功率輸出范圍 | 0W~500W |
| 反射功率 | 100W |
| 射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
| 功率穩(wěn)定度 | ≤5W |
| 諧波分量 | ≤-50dbc |
| 供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
| 整機(jī)效率 | >=70% |
| 功率因素 | >=90% |
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
| 功率輸出范圍 | 0W~500W |
| 反射功率 | 100W |
| 射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
| 功率穩(wěn)定度 | ≤5W |
| 諧波分量 | ≤-50dbc |
| 供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
| 整機(jī)效率 | >=70% |
| 功率因素 | >=90% |
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
四、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)
| 連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
| 標(biāo)準(zhǔn)量程（N2) | 50sccm，100sccm、500sccm（可根據(jù)用戶要求定制） |
| 準(zhǔn)確度 | ±1.5%F.S |
| 線性 | ±1%F.S |
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
| 響應(yīng)時間 | 氣特性：1～4 sec，電特性：10 sec |
| 工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
| 壓力 | 3MPa |
| 接口 | Φ6,1/4'' |
| 顯示 | 4位數(shù)字顯示 |
| 工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
| 壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
| 截止閥 | Φ6 |
| 內(nèi)外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
五、低真空
| 空氣相對濕度 | ≤85% |
| 工作環(huán)境 | 5℃～40℃ |
| 工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
| 功率 | 1KW |
| 抽氣速率 | 10m³/h |
| 極限真空 | 5X10-1Pa |
| 工作壓力范圍 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
| 耐壓值 | 0.03MPa |
| 容油量 | 1.1L |
| 進(jìn)氣口口徑 | KF25 |
| 排氣口口徑 | KF25 |
| 噪音 | 50dB |
| 連接方式 | 采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連 |
