應(yīng)用：
應(yīng)用于科研和工業(yè)界各領(lǐng)域，涵蓋了聚合物材料表征，集成光路測量，材料力學(xué)性能表征，MEMS制造，金屬/合金/金屬蒸鍍的性質(zhì)研究，液晶材料性能表征，分子器件，生物傳感器，分子自組裝結(jié)構(gòu)，光盤存儲，薄膜性能表征等領(lǐng)域的監(jiān)測等各類科研和生產(chǎn)工作。
原理：
將一個對微弱力極敏感的微懸臂一端固定，另一端有一微小的針尖，針尖與樣品表面輕輕接觸，由于針尖原子與樣品表面原子間存在極微弱的排斥力，通過在掃描時控制這種力的恒定，帶有針尖的微懸臂將對應(yīng)于針尖與樣品表面原子間作用力的等位面而在垂直于樣品的表面方向起伏運動。利用光學(xué)檢測法或隧道電流檢測法，可測得微懸臂對應(yīng)于掃描各點的位置變化，從而可以獲得樣品表面形貌的信息。
原子力顯微鏡的工作模式是以針尖與樣品之間的作用力的形式來分類的。主要有以下3種操作模式：接觸模式（contact mode) ，非接觸模式（ non - contact mode) 和敲擊模式( tapping mode）。
主要參數(shù)：
X-Y 方向掃描范圍 | 90μm x 90μm（典型值），85μm（最小值） |
Z 方向掃描范圍 | 10μm（典型值）， 9.5μm（最小值） |
縱向噪音水平 | <50pm rms="" 值（在合適的環(huán)境，典型的成像帶寬條件下="" (="" 可達(dá)=""> |
XY 方向閉環(huán)噪音水平 | <0.15nm rms="" 值（在典型的成像帶寬條件下="" (="" 可達(dá)=""> |
XYZ 三方向的非線性 | <> |
樣品尺寸和固定方式 | 150mm 直徑，真空吸附，15mm 厚 ; 可選擇墊塊的情況下，可達(dá) 40mm 厚 |
馬達(dá)驅(qū)動樣品臺 (X-Y 軸 ) | 150mm x 150mm 可觀測區(qū)域； 可真空吸附， 可編程進(jìn)行多區(qū)域掃描，可 360 旋轉(zhuǎn) |
光學(xué)系統(tǒng)及下針機(jī)制 | 5 百萬像素數(shù)字?jǐn)z像頭； 180μm 至 1465μm 可視區(qū)域 ; 數(shù)字化縮放，馬達(dá)驅(qū)動聚焦 ，單軸垂直下針，軟件自動控制 |
信號輸入輸出 | 控制器內(nèi)置可配置的信號輸入 / 輸出 ; 包括可定制的信號輸入輸出，數(shù)字化反饋和雙數(shù)字化鎖相放大器 |
單點譜線 | 三軸閉環(huán)控制可實現(xiàn) point-and-shoot 式定位和譜線測量 ; 內(nèi)置了熱調(diào)諧方式的彈性常數(shù)校準(zhǔn)功能 ; |
溫度控制 | 可選 -35 至 +250℃加熱 / 冷卻附件； 包括氣體充換功能； |
