T I O 2涂布 |
真空旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)
| VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。 | ||
主要特點(diǎn) | •真空吸附方式固定樣件，操作簡便。 •使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。 •根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。 •設(shè)有12組程序，每組包含6個(gè)運(yùn)行階段。 •電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。 •50W/24V 直流電機(jī) •適于在Ar氣環(huán)境中工作（真空泵放置在手套箱外） | |||
基 本 參 數(shù) | •電機(jī)功率：50W/24V •速度范圍：500-10000rpm •程序運(yùn)行：可儲(chǔ)存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段 •增減速率設(shè)置：100rpm/s-2000rpm/s •時(shí)間范圍：0-60s •吸盤：Φ19mm、Φ60mm | 進(jìn)氣口： 上蓋有一個(gè)直徑6mm的進(jìn)氣口可將需要的氣體通入腔體，實(shí)現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉(zhuǎn)涂覆
可選加熱部分： 上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱，采用K型熱偶測(cè)溫，數(shù)字溫控器控溫，120℃，可使得樣品涂覆后原位烘干，用于薄膜太陽能電池等研究。
產(chǎn)品尺寸：450mm×280mm×340mm；
重量：20kg
可選配件：過濾器（真空泵用）
保修期：一年保修，終身技術(shù)支持。 | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件： 1 真空吸盤（含O型圈） 2個(gè) 2 中心定位器（含4個(gè)定位柱） 1個(gè) 3 滴膠注射器（20ml） 1個(gè) 4 注射器支架 1個(gè) 5 AP-1400V無油真空泵 1臺(tái) 6 橡膠管（含卡箍） 1根 | ||||
