產(chǎn)品描述:
● 觀察條件可設(shè)定并存儲(chǔ),使每個(gè)操作者得到宜自己的觀察條件
● 兩種尺寸載物臺(tái)可選:分別用于200mm晶圓和300mm晶圓
● 內(nèi)置式自動(dòng)聚焦和手動(dòng)聚焦兩種鏡體可選
UIS 目鏡 F.N.26.5
UIS 物鏡 物鏡適配器,配合明視野物鏡
顯微鏡鏡體:
兼容鏡體 適用于200/300mm晶圓觀測(cè),一個(gè)RS232C外部通訊接口。
電動(dòng)對(duì)焦部件:
反光照明:
電動(dòng)選擇觀測(cè)系統(tǒng)(4組分光鏡選擇,用于明視野法、暗視野法、偏振光和熒光照射觀測(cè))
激光主動(dòng)法。波長:λ=780nm,CDRH 1級(jí)兼容。