產(chǎn)品特性
● 顯微鏡觀察所需操作基本電動(dòng)化，極大提高工作效率
● 觀察條件可設(shè)定并存儲(chǔ)，使每個(gè)操作者得到宜自己的觀察條件
● 兩種尺寸載物臺(tái)可選：分別用于200mm晶圓和300mm晶圓
● 內(nèi)置式自動(dòng)聚焦和手動(dòng)聚焦兩種鏡體可選
技術(shù)規(guī)格
目鏡/物鏡:
UIS 目鏡 F.N.26.5
UIS 物鏡 物鏡適配器，配合明視野物鏡
顯微鏡鏡體:
兼容鏡體 適用于200/300mm晶圓觀測(cè)，一個(gè)RS232C外部通訊接口。
電動(dòng)對(duì)焦部件：
·垂直行程25mm；Z軸向分辨率50nm(帶50倍或更高放大倍率的物鏡)
·各物鏡可進(jìn)行對(duì)焦調(diào)節(jié)；高度限制；載物臺(tái)降低(返回可設(shè)定)
反光照明:
照明(一體化)系統(tǒng)：
電動(dòng)選擇觀測(cè)系統(tǒng)(4組分光鏡選擇，用于明視野法、暗視野法、偏振光和熒光照射觀測(cè))
自動(dòng)聚焦(一體化)系統(tǒng)：
激光主動(dòng)法。波長(zhǎng)：λ=780nm，CDRH 1級(jí)兼容。
