- 主要特點-
量程0.3～1mm；
分辨率10～25nm；
的測量性能，且易于操作；
綜合的觸發(fā)模塊；
大的測量間隙，高數(shù)值孔徑，特別適用于復雜的地形；
能測量各種反射率的表面和邊緣，并無需做任何適配或設置；
-應用領域-
產(chǎn)品應用于電子行業(yè)，光學器件，電信行業(yè)，塑料和造紙行業(yè)，IC封裝，機械工程，陶瓷行業(yè)、汽車等應用領域。
- 技術規(guī)格-
型號 | NLS11 | NLS12 | NLS13 | NLS14 |
測量范圍mm | 1 | 1 | 1.5 | 0.3 |
分辨率nm | 20 | 20 | 10 | 25 |
測量間隙mm | 4 | 13.5 | 2 | 4 |
光斑直徑μm | <2< span=""> | 2 | 1.9 | 5 |
激光等級 | 2 | 1 | 1 |
|
光源 | 半導體傳感器 | 半導體傳感器 | 半導體傳感器 | 鹵素燈 |
工作原理 | 共焦傳感器 | 共焦傳感器 | 自動聚焦傳感器 | 白光傳感器 |
◆我們保留規(guī)格變化而不另行通知的權利。
- 測量原理-
NLS13發(fā)射的光源通過物鏡投射到被測物樣品表面，其反射回來的光會通過內(nèi)置的裝置形成光斑顯示在傳感器里面，從而被探測器檢測。物鏡的運動通過增量型編碼器控制，傳感器自動算出當前位移值。
