一般特性

• 通過指示燈顯示繼電器狀態(tài)，可以快速驗證和調試測量設置
• 支持使用鍵盤或可選光筆在前面板上進行控制操作
• Keysight EasyEXPERT 軟件可以通過直觀的 GUI 控制和自動執(zhí)行開關設置
• 優(yōu)化的 CV 輸入包括綜合的 EasyEXPERT 軟件電容補償

測量能力

• 使用 4156C、B1500A 或 E5270B HRSMU，通過開關可實現(xiàn) 10 毫微微安的測量分辨率
• < 2 秒的瞬時電流穩(wěn)定時間（< 300 fA）（10 V 輸入步進）
• 30 MHz 帶寬（- 3 dB）
• 為低電流（三軸）路徑提供 50 T 歐姆的通道隔離

體系結構

• 8 路低電流（三軸）輸入和 6 路通用（同軸）輸入
• 模塊化設計支持 x12、x24、x36 和 x48 三軸輸出配置
• 14 條內(nèi)部路徑（無多路復用的輸入）
• 兼容 Keysight B2220A 低泄漏探頭卡接口

本頁內(nèi)容：行業(yè)挑戰(zhàn) • 摘要 • 特性和優(yōu)勢 • 元器件 • 主要技術指標 • 相關是德產(chǎn)品

B2201A 可自動執(zhí)行表征測試，從而降低測試成本，對半導體參數(shù)分析儀的測量性能只有輕微影響。它支持 4 SMU Kelvin 配置和電容表，并可在未來進行擴展。此外，它還具有 14 路輸入，每路輸入都使用的內(nèi)部測量路徑，其中兩路輸入還具有特殊的電容測量補償特性。它還支持脈沖發(fā)生器等儀器。用戶可使用鍵盤或可選光筆通過前面板進行操控。

行業(yè)挑戰(zhàn)

對半導體晶圓上的眾多測試結構進行所有必要的參數(shù)測量，可能需要耗費大量時間和成本。隨著最終用戶設備的成本持續(xù)下降，甚至實驗室表征環(huán)境也必須降低測試成本。使用包含半自動或全自動晶圓探頭的開關矩陣，可以自動執(zhí)行表征測試，在每次測試新模塊時也無需操作人員手動復位探頭。這樣既縮短測試時間，又節(jié)省測試成本。

許多現(xiàn)有的開關矩陣都有內(nèi)在的局限性。例如，許多開關矩陣會降低半導體參數(shù)分析儀的低電流測量性能，成為測量鏈中弱的環(huán)節(jié)。如果內(nèi)部路徑數(shù)量不足，那么開關矩陣就無法支持 4 終端 Kelvin 測量和電容表，而且每次將測量從 IV 變成 CV 時都需要花很長時間手動改變電纜連接。最后，如果開關矩陣不能對電容測量結果進行補償，以消除因路徑長度而產(chǎn)生的測量失真，那么這些測量結果也將會是不準確的。

摘要

出色的開關矩陣性能，適中的價格

B2201A 14 通道低泄漏開關主機提供出色的低電流泄漏和電容測量性能，沒有其他替代解決方案所具有的限制。能夠支持 10 fA 測量，意味著它不會嚴重降低半導體參數(shù)分析儀的高性能。它的價格適中，可以為要求不是特別苛刻的測量環(huán)境提供經(jīng)濟高效的測量性能。輸入數(shù)量足夠多，則可以支持4-SMU Kelvin 配置。所有 14 路輸入對應的內(nèi)部路徑，因此可以同時使用。與其他同類解決方案不同，它可以避免每個通道的路徑長度不同所產(chǎn)生的固有誤差，確保電容測量結果不會出現(xiàn)失真；此外，系統(tǒng)提供了必要的參數(shù)和算法來補償這些差異。它的模塊化結構支持 12、24、36 或 48 路輸出配置，使用起來具有極大的靈活性。30 MHz 帶寬使它可以使用脈沖發(fā)生器等儀器。附加的 LED 顯示屏和使用鍵盤或可選光筆進行操控的前面板，使操作人員可以非常靈活地進行操作。

• 緊跟半導體參數(shù)分析儀性能的步伐
  的半導體參數(shù)分析儀已經(jīng)達到新的性能水平。B2201A 開關矩陣能夠支持 10 fA 測量分辨率，緊跟半導體參數(shù)分析儀性能的步伐，而不會嚴重降低測量性能。
• 避免多路復用的測量限制
  避免花費很長時間手動切換 B2201A 的 14 條內(nèi)部測量路徑，因而延誤測量進度。每路輸入都有自己的內(nèi)部路徑，可以同時工作，避免因為在共享路徑上多路復用輸入所帶來的限制。
• 準確的電容測量
  特別是在測量電容時，電纜長度（包括矩陣中的路徑）對測量結果有很大影響。通過使用針對電容測量優(yōu)化過的兩路 BNC 輸入，B2201A 開關矩陣主機――與同類解決方案不同――可以校正因為矩陣內(nèi)部路徑長度而產(chǎn)生的誤差，提供補償參數(shù)以確保測量結果不失真。

特性和優(yōu)勢

元器件

• B2201A 14 通道低泄漏開關主機
• B2211A 14 通道低泄漏開關模塊

主要技術指標