ASML二手KRF光刻機(jī)PAS5500/800現(xiàn)貨供應(yīng)-儀表網(wǎng)

公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

公司主營(yíng)實(shí)驗(yàn)室分析檢測(cè)儀器設(shè)備，以實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機(jī)械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計(jì)院，美國(guó)安捷倫、美國(guó)熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個(gè)***重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室從實(shí)驗(yàn)室布局設(shè)計(jì)出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開發(fā)建立、后期運(yùn)營(yíng)管理，形成完整的專業(yè)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)體系，達(dá)到一站式服務(wù)，為眾多行業(yè)客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營(yíng)產(chǎn)品分為四大類，光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測(cè)。
能量色散X熒光光譜儀（EDX）、波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀（WDX）、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES）、原子吸收分光光度計(jì)(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀（Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）、水質(zhì)在線分析儀（WAOL）；

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

ASMLKRF光刻機(jī)PAS5500/800提供0.80數(shù)值孔徑(NA)

ASML二手KRF光刻機(jī)PAS5500/800現(xiàn)貨供應(yīng) 產(chǎn)品詳情

ASML KRF光刻機(jī)PAS5500/800提供0.80 數(shù)值孔徑 (NA)。該系統(tǒng)的分辨率為 120 納米，將用于批量生產(chǎn) 256 MB DRAM 和其他*的存儲(chǔ)設(shè)備。

“PAS 5500/800 將使這些的制造商能夠?qū)⑵鋵?duì)成熟 KrF 技術(shù)的投資擴(kuò)展到新一代內(nèi)存產(chǎn)品，”ASML 銷售執(zhí)行副總裁 Dave Chavoustie 說?！巴ㄟ^展示我們擴(kuò)展 PAS 5500 平臺(tái)和提供新工具的能力，我們的系統(tǒng)繼續(xù)提供非常高的生產(chǎn)力和低擁有成本?！?/span>

PAS 5500/800 于 2001 年 1 月發(fā)布，其吞吐量規(guī)格為每小時(shí) 115 200 毫米晶圓。該系統(tǒng)專為當(dāng)今 IC 的大批量處理以及下一代邏輯、ASIC和*存儲(chǔ)設(shè)備的研發(fā)和試生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。PAS 5500/800 將 Carl Zeiss StarLith800 0.8 NA、4X 縮小鏡頭的成像能力與 AERIAL II 照明技術(shù)相結(jié)合，可在關(guān)鍵尺寸和電路設(shè)計(jì)特征范圍內(nèi)優(yōu)化工藝范圍。該系統(tǒng)配備了 ASML的 ATHENA 晶圓對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)和新開發(fā)的掩模版藍(lán)色對(duì)準(zhǔn)，允許光化波長(zhǎng)掩模版對(duì)準(zhǔn)，使單機(jī)重疊精度低于20納米。新的液位傳感器提高了聚焦精度，以增強(qiáng)過程控制和產(chǎn)量，特別是對(duì)于邊緣模具?？蛻艨梢詮娜蟮?20 瓦 KrF 激光器供應(yīng)商中進(jìn)行選擇。ASML 對(duì)激光源的實(shí)施包括可變激光頻率控制，結(jié)合通過照明和投影光學(xué)器件的高光傳輸，確保更高的生產(chǎn)率和更低的運(yùn)營(yíng)成本。

關(guān)鍵詞：液位傳感器過程控制

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