團隊介紹
ASML和NIKON光刻機的翻新改造、安裝調(diào)試及維護的核心技術(shù)能力。中國完成過ArF, KrF, I Line, G Line全部工程案例的團隊。
針對12英寸及以下的不同尺寸(包括硅、碳化硅、氮化鎵、藍寶石等)、不同掩模版尺寸的要求,可實現(xiàn)自主設(shè)計、加工制造、集成調(diào)整的改造能力。
能夠進行包括光學系統(tǒng)在內(nèi)的全面翻新、調(diào)試、測試,具備完整的運行保障能力,和備品備件的供應。
針對不同產(chǎn)品(如MEMS、MICROLED、DMOS、CMOS等),具備的工藝人才和技術(shù)基礎(chǔ),能夠針對不同的產(chǎn)品特性進行設(shè)備選型、技術(shù)匹配及工藝試驗。