團(tuán)隊(duì)介紹
ASML和NIKON光刻機(jī)的翻新改造、安裝調(diào)試及維護(hù)的核心技術(shù)能力。中國(guó)完成過(guò)ArF, KrF, I Line, G Line全部工程案例的團(tuán)隊(duì)。
針對(duì)12英寸及以下的不同尺寸(包括硅、碳化硅、氮化鎵、藍(lán)寶石等)、不同掩模版尺寸的要求,可實(shí)現(xiàn)自主設(shè)計(jì)、加工制造、集成調(diào)整的改造能力。
能夠進(jìn)行包括光學(xué)系統(tǒng)在內(nèi)的全面翻新、調(diào)試、測(cè)試,具備完整的運(yùn)行保障能力,和備品備件的供應(yīng)。
針對(duì)不同產(chǎn)品(如MEMS、MICROLED、DMOS、CMOS等),具備的工藝人才和技術(shù)基礎(chǔ),能夠針對(duì)不同的產(chǎn)品特性進(jìn)行設(shè)備選型、技術(shù)匹配及工藝試驗(yàn)。