TWINSCAN XT:1900Gi Step-and-Scan 系統(tǒng)是一種高生產(chǎn)率的雙級浸沒式光刻工具,專為 45 納米及以下分辨率的 300 毫米晶圓批量生產(chǎn)而設計。
XT:1900Gi采用蔡司星石1900i浸沒鏡頭。這是現(xiàn)有的大型ArF鏡頭,在1.35NA時,它推動了水基ArF浸入式平版印刷達到極限。結合ASML的Ultra-k1產(chǎn)品組合,它提供了行業(yè)的可用k1值,它可以實現(xiàn)40nm及以下的半間距分辨率。
XT:1900Gi采用新的測量和曝光周期,它為浸入式光刻設定了一個新的基準,每小時生產(chǎn)131個晶片。