SAMCO二手 ICP刻蝕設(shè)備RIE-350iPC現(xiàn)貨供應(yīng)-儀表網(wǎng)

公司介紹主營產(chǎn)品

公司主營實(shí)驗(yàn)室分析檢測儀器設(shè)備，以實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機(jī)械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計(jì)院，美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個***重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室從實(shí)驗(yàn)室布局設(shè)計(jì)出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開發(fā)建立、后期運(yùn)營管理，形成完整的專業(yè)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)體系，達(dá)到一站式服務(wù)，為眾多行業(yè)客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營產(chǎn)品分為四大類，光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測。
能量色散X熒光光譜儀（EDX）、波長色散X熒光光譜儀（WDX）、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES）、原子吸收分光光度計(jì)(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀（Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）、水質(zhì)在線分析儀（WAOL）；

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產(chǎn)品簡介在線詢價

SAMCOICP刻蝕設(shè)備RIE-350iPC是一種盒式裝載電感耦合等離子體(ICP)蝕刻設(shè)備，可處理多達(dá)?350毫米的載盤，用于多晶圓批量處理

SAMCO二手 ICP刻蝕設(shè)備RIE-350iPC現(xiàn)貨供應(yīng) 產(chǎn)品詳情

SAMCO ICP刻蝕設(shè)備RIE-350iPC是一種盒式裝載電感耦合等離子體(ICP)蝕刻設(shè)備，可處理多達(dá)?350毫米的載盤，用于多晶圓批量處理。

該系統(tǒng)為各種蝕刻應(yīng)用提供了堅(jiān)固可靠的硬件和的工藝控制，具有較高的生產(chǎn)率，如功率器件、微型LED、VCSEL、LD、電容器和射頻濾波器。

主要特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

加工范圍：?350 mm (?3" x 12, ?4" x 8, ?12" x 1)

*的ICP源HSTC™（Hyper Symmetrical Tornado Coil）能有效地提供均勻的高密度等離子體，并在大面積上具有優(yōu)異的蝕刻均勻性。

對稱的疏散設(shè)計(jì)與TMP相結(jié)合，形成了高效的流動。

優(yōu)化的氣體歧管，提供工藝氣體的均勻性。

可選的光學(xué)/干涉式端點(diǎn)檢測系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)對多個工藝運(yùn)行的精確蝕刻深度控制。

應(yīng)用

GaN、GaAs、InP和SiC的高精度蝕刻

SiN和SiO2的蝕刻

電介質(zhì)和金屬的蝕刻

用于HBLED的PSS（圖案化藍(lán)寶石襯底）加工

關(guān)鍵詞：電容器

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