住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池,通過(guò)電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過(guò)400g/(n),是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過(guò)程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧發(fā)生儀
住友臭氧發(fā)生儀應(yīng)用:
半導(dǎo)體器件
Si/復(fù)合晶圓
FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)
光罩
發(fā)光二極管
具體信息:
溶解臭氧濃度 | 5 to 150ppm |
臭氧化超純水流量 | 1 to 90L/min |
原料氣 | 氧、氮、二氧化碳 |
功率 | 200-220VAC, 3-phase |
住友臭氧發(fā)生儀優(yōu)勢(shì)
臭氧溶解單元的安裝使其能夠在管道輸送過(guò)程中防止臭氧溶解濃度的下降。
Contribute to reduction of foot print.(One ozone generator supplies ozone gas to multi dissolution units.)
高濃度,大流速
低運(yùn)行成本(低功耗,小部分消耗,長(zhǎng)壽命周期放電細(xì)胞)
高壓耐受長(zhǎng)壽周期放電細(xì)胞
穩(wěn)定濃度(閉環(huán)控制)
關(guān)閉時(shí)維護(hù)自由
無(wú)臭氧水
![](https://img77.ybzhan.cn/5eceadd4559dcfd2bcffca9e6cbdd795639ca051704c58f1ff7d028a5c4c6e98ce0071e83b26211d.jpg)