住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池,通過電力將氧氣轉化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/(n),是市場上的上等產品。在半導體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧發(fā)生儀
住友臭氧發(fā)生儀應用:
半導體器件
Si/復合晶圓
FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)
光罩
發(fā)光二極管
具體信息:
臭氧氣體流速 | 5 to 150ppm |
臭氧氣體供應壓力 | *大0.25MPa |
臭氧化超純水流量 | 1 to 90L/min |
原料氣 | 氧、氮、二氧化碳 |
功率 | 200-220VAC, 3-phase |
住友臭氧發(fā)生儀優(yōu)勢:
濃度高,流量大
占地面積小,緊湊
運行成本低(功耗低,易損件數(shù)量少,放電單元壽命長)
高壓耐受,長壽命放電單元
快速啟動,快速響應
與臭氧監(jiān)測儀(閉環(huán)控制)集成的穩(wěn)定濃度
CE、NRTL、半標準適用
關閉期間免維護
無氮臭氧