住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池,通過(guò)電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過(guò)400g/(n),是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過(guò)程中受到了眾多客戶(hù)的高度重視。
住友臭氧發(fā)生儀器
住友臭氧發(fā)生儀器應(yīng)用:
1. 半導(dǎo)體器件
2. Si/復(fù)合晶圓
3. FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)
4. 光罩
5. 發(fā)光二極管
具體規(guī)格
臭氧氣體流速 | 1L/min to 24L/min | |
臭氧氣體供應(yīng)壓力 | *大0.2MPa | |
冷卻水溫度 |
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氮摻雜比 | 0.1%(volume)against oxygen | |
尺寸 | W483mm x D453mm x H266mm | |
重量 | 30 到 45kg | |
功率 | 200-220VAC, 3-phase |
特征:
高濃度;高達(dá)400g/m3(N)
19英寸機(jī)架尺寸標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)
豐富的產(chǎn)品線;小容量到大容量
高壓耐受,長(zhǎng)壽命放電單元
快速啟動(dòng),快速響應(yīng)
與臭氧監(jiān)測(cè)儀(閉環(huán)控制)集成的穩(wěn)定濃度
CE、NRTL、半標(biāo)準(zhǔn)適用
管道材料;從316LSS或PFA中選擇