勻膠機(jī)
勻膠機(jī)有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，總的來說，他們原理都是一樣的，既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。勻膠機(jī)可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蝕中也被廣泛使用。
由我司提供的勻膠機(jī),在高校、研究所及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽(yù),相信能滿足您多種不同應(yīng)用要求。
產(chǎn)地：韓國MIDAS公司，
型號：SPIN-1200D
廠家鏈接：.cn/



勻膠機(jī)通用參數(shù):
旋轉(zhuǎn)襯底尺寸：4”、6”、8”、12”、550mm；
按客戶需求提供整體解決方案，可以旋涂最小3mm， 1000mm襯底；
從手動到全自動溶質(zhì)分配的選擇范圍寬大；
無振動轉(zhuǎn)速8000rpm；
真空吸附，無污染；
臺式勻膠機(jī),占用空間??；
具備耐化學(xué)性的無縫聚丙烯外罩，并且勻膠機(jī)主機(jī)易清洗；
聚四氟乙烯（PTFE）的勻膠機(jī)可用于強(qiáng)腐蝕性化學(xué)材料；
便于程序操作的全尺寸鍵盤，甚至帶著手套都可以方便使用；
可以準(zhǔn)確重復(fù)運(yùn)行程序的數(shù)字程序控制系統(tǒng)；
高度靈活的多重可編程步驟組成復(fù)合程序。


應(yīng)用范圍：
可用于光刻膠(PR)，聚酰亞胺(Polyimide)，金屬有機(jī)物(Metallo-organics)，攙雜劑(Dopant)，硅薄膜(Silica Film)，以及大多數(shù)的有機(jī)溶液、水溶液；

全自動的勻膠及顯影工藝必需的全自動Chip生產(chǎn)設(shè)備：