PL SERIES
Midas推出了一種臺(tái)式、獨(dú)立的納米壓印平臺(tái):PL系列PL 200/400/600。該平臺(tái)提供了一個(gè)帶有微定位裝置的機(jī)械平臺(tái),用于安裝納米壓印室、UV固化源和校準(zhǔn)顯微鏡。它既可以作為納米壓印系統(tǒng),也可以作為傳統(tǒng)的掩模對(duì)準(zhǔn)器,同時(shí)為您的整個(gè)壓印過(guò)程提供可編程的自動(dòng)控制。
?基板尺寸 PL 200:2英寸,PL 400:4英寸,PL 600:6英寸(尺寸較小,形狀不規(guī)則)
?壓印面積與晶圓尺寸相同
?模板尺寸 PL 200:2,1英寸,PL 400:4,3,1英寸,PL 600:6,4,2,1英寸
?壓印壓力1 psi標(biāo)準(zhǔn)
?包括模具/基板自動(dòng)釋放-無(wú)需特殊工具
?95%強(qiáng)度水平下的紫外線照射時(shí)間2~3分鐘
?對(duì)準(zhǔn)能力X、Y、Z和θ(精度2μm)