技術(shù)參數(shù):
1 電子槍能量范圍:50 eV ~ 5 keV;
2 電子槍工作距離:20 mm ~ 100 mm;
3 電子束偏轉(zhuǎn)角度:±3.5° @ 5 keV;
4 電子槍束流:1nA ~ 100 µA;
5 束斑尺寸:1 mm ~ 10 mm;
6 陰極材料:Ta (真空要求1 x 10-5 Torr);
7 計(jì)算機(jī)/遠(yuǎn)程控制能力:通過50針D-sub/RS-232接口;
8 反饋穩(wěn)定功能:發(fā)射電流控制;
9 雙柵脈沖寬度調(diào)制范圍:2 µs ~ DC,重復(fù)頻率可到5 kHz;(Option)
10 脈沖寬度調(diào)制范圍:20 ns ~ 100 µs;(Option)
11 電子槍在真空中的長度為180 mm;(Option)
EGL-2022 / EGPS-2022型電子槍產(chǎn)品介紹