1 電子槍能量范圍:1 eV ~ 2 keV;
2 電子槍工作距離:5 mm ~ 100 mm;
3 電子束偏轉(zhuǎn)角度:±3.5° @ 5 keV;
4 電子槍束流:1 nA ~ 10 μA;
5束斑尺寸:0.5 mm ~ 5 mm;
6 陰極材料:Y2O3/BaO/Ta;
7 計算機(jī)/遠(yuǎn)程控制能力:通過50針D-sub/RS-232接口;
8 反饋穩(wěn)定功能:發(fā)射電流控制;
9 雙柵脈沖寬度調(diào)制范圍:2 µs ~ DC,重復(fù)頻率可到5 kHz;(Option)
10 脈沖寬度調(diào)制范圍:20 ns ~ 100 µs;(Option)
11 集成法拉第杯;(Option)
ELG-2 / EGPS-1022型電子槍產(chǎn)品介紹