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MX51 工業(yè)檢測顯微鏡
產(chǎn)品特點:
• 緊湊的設(shè)計實現(xiàn)最小的占地空間
• 鏡臂部分和鏡體分開, 使高的樣品觀察成為可能
• 標配158×158mm手動移動載物臺(可用于200mm晶圓檢查)
• 選配長工作距離物鏡, 極大方便磁頭檢查
• 采用防靜電設(shè)計，極大方便磁頭檢查
• 提高系統(tǒng)靈活性和操作舒適性，滿足SEMI S2/S8標準
MX51詳細規(guī)格:
| 光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠校正光學(xué)系統(tǒng)） | ||||
| 顯微鏡鏡體 | Z軸同軸粗微調(diào)調(diào)焦，載物臺行程范圍：32 mm（從焦面上行2 mm和下行30 mm） 行程相同：15 mm（配合透射光照明） Z軸微調(diào)焦每旋轉(zhuǎn)一周的行程0.1 mm（1個單位1 µm）調(diào)焦機構(gòu)張力可調(diào)有調(diào)焦上限位機構(gòu) | ||||
| 照明系統(tǒng) | | BX-KMA 明視場照明器 | BX-RLA2 明視場/暗視場照明器 | BX-URA2 照明器 | |
| 觀察方式轉(zhuǎn)換 | ---- | 明視場-暗視場滑塊轉(zhuǎn)換法 | 分光鏡組（最多6個）換鏡旋座 | ||
| 可適用觀測模式 | ①明視場法 ②諾曼爾斯基微分干涉襯比法 ③偏振光照明法 | ①明視場法 ②暗視場法 ③諾曼爾斯基微分干涉襯比法 ④偏振光照明法 ⑤紅外光 | ①明視場法 ②暗視場法 ③諾曼爾斯基微分干涉襯比法 ④偏振光照明法 ⑤熒光照明法 | ||
| 光源 | 6V30W瓦鹵素?zé)?/div> 燈座: U-LS30-4 變壓器: TL-4 | 12V100W瓦鹵素?zé)?/div> 燈座: U-LH100L-3 電源整合在MX51顯微鏡中 | 水銀燈: U-LH100HGAPO 需配備BH2-RFL-T3外接電源 | ||
| 透射照明 | 明視場MX-TILLK照明燈，配備光纖照明附件（MX-TILLK須與MX-SIC6R2配合使用） | ||||
| 電源供應(yīng)部件 | ---- | 額定電壓: 100-120/220-240V1.8A/0.8A 50/60Hz 連續(xù)式亮度調(diào)節(jié)盤 | |||
| 觀察鏡筒 | U-BI30-2 寬場雙目鏡筒，U-TR30-2 寬場三目鏡筒，U-ETR3 寬場正像三目鏡筒(F.N. 22) U-SWTR 超寬場三目鏡筒，MX-SWETTR 超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5) | ||||
| 物鏡換鏡轉(zhuǎn)盤 | U-5RE-2, U-6RE U-D5BDRE, U-D6BDRE, U-P5BDRE (帶有微粉干涉襯比法棱鏡滑槽) | ||||
| 載物臺 | U-SIC4R2/SIC4L2同軸右/左手控制4英寸×4英寸載物臺 驅(qū)動方法:齒輪/齒條 Y 軸止動器: 手柄調(diào)節(jié) | MX-SIC6R2同軸右/左手控制6英寸×6英寸載物臺 驅(qū)動方法:傳動帶式行程:158（X軸）×158（Y軸）mm 聯(lián)動方法: 離合（內(nèi)置離合開關(guān)手柄） 托架尺寸: 200×200mm透過觀察范圍: 100×100mm) | |||
| 體積與重量 | 體積: 約430（寬）×591（長）×495（高）mm；重量：約26 kg（顯微鏡鏡體約重11 kg） | ||||
