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MX61A 自動(dòng)化半導(dǎo)體檢查顯微鏡
產(chǎn)品特點(diǎn):
• 具有能滿足靈活應(yīng)對特定檢查需要的 Inspection-Engine 和高度解析需要的 Analysis-Engine 兩個(gè)可選控制器（Dual-Engine） 。
通過兩個(gè)控制器，根據(jù)半導(dǎo)體檢查或解析的需要，輕松實(shí)現(xiàn)靈活的自動(dòng)化及需要的擴(kuò)展工作
MX61A詳細(xì)規(guī)格:
| 光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)） |
| 照明系統(tǒng) | 反射照明系統(tǒng)（視野數(shù)26.5） 12V100W鹵素?zé)簦A(yù)定心型）明視野·暗視野分光鏡＋一個(gè)分光鏡組件 可用觀察法 ①反射明視野②反射暗視野③反射微分干涉④反射簡易偏光⑤反射熒光⑥反射IR⑦DUV觀察 |
| 鏡筒 | 超寬視野正象可傾斜式三目鏡筒（視野數(shù)26.5）MX-SWETTR（光路分割比率100:0、0:100、傾斜角度0º-42º） U-SWETTR-5（光路分割比率100:0、20:80、傾斜角度0º-35º） 紅外線用寬視野三目鏡筒（視野數(shù)22）U-TR30IR近紅外線觀察時(shí)使用 |
| 電動(dòng)換鏡轉(zhuǎn)盤 | 明·暗視野微分干涉六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)盤: U-D6BDREMC 明·暗視野微分干涉五孔電動(dòng)轉(zhuǎn)盤: U-D5BDREMC |
| 控制器 | 作業(yè)組件MX-OPU61A 為內(nèi)置控制軟件的液晶觸摸屏 可以進(jìn)行顯微鏡的各種操作、觀察條件設(shè)定 手動(dòng)開關(guān)MX-HS61A 可以進(jìn)行顯微鏡的各種操作（1JOG調(diào)焦旋鈕＋14操作按鈕）MX2-BSW 程序（為PC使用時(shí)）控制MX61A及周圍電動(dòng)組件的應(yīng)用程序軟件 OS(WindowsXP Professional)CPU(Pentium4, 2GHz以上)內(nèi)存（512MB以上） |
| 載物臺(tái) | 帶右手用同軸驅(qū)動(dòng)旋鈕14×12英寸（對應(yīng)300mm晶圓）載物臺(tái)MX-SIC1412R2 帶右手用同軸驅(qū)動(dòng)旋鈕8×8英寸（對應(yīng)200mm晶圓）載物臺(tái)MX-SIC8R2 驅(qū)動(dòng)方式: 滾輪引導(dǎo)式滑動(dòng)帶驅(qū)動(dòng)（無架子） 離合機(jī)構(gòu): 2片離合板（由離合把手裹夾帶子/解除方式） 行程: MX-SIC1412R2 橫向356×豎向305mm MX-SIC8R 橫向210×豎向210mm..電動(dòng)載物臺(tái)規(guī)格: 對應(yīng)300mm/200mm晶圓 |
| 外形尺寸·質(zhì)量 | 尺寸: 711（W）×853（D）×552（H）mm 質(zhì)量: 約56kg（鏡體: 約31kg） 300mm的標(biāo)準(zhǔn)栽物臺(tái)搭載時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)對焦規(guī)格 不含相機(jī)/選擇組件 |
