ProtaR RGA是基于四級(jí)桿質(zhì)譜技術(shù)的殘余氣體分析儀,質(zhì)量范圍0-100amu,0-200amu,0-300amu。是泄漏測(cè)試、半導(dǎo)體、涂層和工藝應(yīng)用中測(cè)試和殘余氣體分析的有用分析工具,能夠以低檢測(cè)限和快速響應(yīng)檢測(cè)和測(cè)量幾乎所有氣體。
優(yōu)勢(shì):
- 毫秒級(jí)快速響應(yīng)
- 低維護(hù)成本,配備耐腐蝕性進(jìn)氣口
- 多組分定量分析
應(yīng)用領(lǐng)域:
- 真空系統(tǒng)
- 半導(dǎo)體
- 冶金行業(yè)
- 真空過(guò)程檢測(cè)
- 與現(xiàn)有真空系統(tǒng)集成