英?？禋堄鄽怏w分析儀的功能
應用于ALD、蝕刻、CVD ，對殘余氣體進行過程監(jiān)測和分析
測量速度為每點 1.8 ms（每秒 555 點）
在大多數(shù)苛刻 CVD 和蝕刻應用中，展現(xiàn)出經(jīng)實踐驗證的耐久性和可靠性
應用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 軟件，由 INFICON 提供支持，是一款強大的過程監(jiān)測與診斷工具
緊湊尺寸 — 允許輕松集成到半導體生產(chǎn)設備
Hexblock™ 含三個壓力進口并減少表面積，以小化表面反應時間和響應時間
電容隔膜計 (CDG) — CDG 允許用戶監(jiān)測過程壓力，并自動保護系統(tǒng)不出現(xiàn)壓力偏移
自動校準 — 確保長期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性和精度，以便進行各傳感器和工具的腔室匹配
用戶*性
INFICON Transpector CPM 的下列性能可在低成本下實現(xiàn)現(xiàn)場早期報警:
■ 測量氣相反應;
■ 驗證真空的完整性;
■ 鑒別痕量污染物;
■ 測量過程與本底的組分;
■ 定性氣體純度。
| Type | 100 AMU CPM | 200 AMU CPM | 300 AMU CPM |
| 分辨率 | 1 amu wide @ 10% peak height | 1 amu wide @ 10% peak height | 1 amu wide @ 10% peak height |
| 總壓力范圍1 | 5E-7 - 1E-3 Torr | 5E-7 - 1E-3 Torr | 5E-7 - 1E-3 Torr |
| 總壓力精度2 | +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr | +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr | +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr |
| 大離子源工作壓力3 | 1E-3 Torr | 1E-3 Torr | 1E-3 Torr |
| 標稱工作壓力? | 2E-4 Torr | 2E-4 Torr | 2E-4 Torr |
| 系統(tǒng)工作壓力 | 1E-8 Torr - 1.2 atm | 1E-8 Torr - 1.2 atm | 1E-8 Torr - 1.2 atm |
| 靈敏度（低發(fā)射） | > 4E-6 Amps/Torr | > 2E-6 Amps/Torr | > 1E-6 Amps/Torr |
| 靈敏度（高發(fā)射） | > 2E-5 Amps/Torr | > 1E-5 Amps/Torr | > 5E-6 Amps/Torr |
| 小可檢測分壓? | 1E-13 Torr | 2E-13 Torr | 4E-13 Torr |
| 大數(shù)據(jù)速率 | 1.8 ms/point (555 points/sec) | 1.8 ms/point (555 points/sec) | 1.8 ms/point (555 points/sec) |
| 豐度靈敏度? | < 5 ppm | < 10 ppm | < 100 ppm |
| 零沖擊? | < 2 ppm | < 25 ppm | < 200 ppm |
| 檢測限值? | < 1 ppm | < 2 ppm | < 4 ppm |
| 線性度? | +/- 20% | +/- 20% | +/- 20% |
| 小背景壓力 | 1E-8 Torr | 1E-8 Torr | 1E-8 Torr |
| 大傳感器和進氣溫°C度 | 150 | 150 | 150 |
INFICON/英福康殘余氣體分析儀的 Transpector CPM RGA
1.使用總壓強鏡頭獲得的離子源壓強讀數(shù)@低發(fā)射
2.總壓強準確度@低發(fā)射
3.離子源大工作壓強@低發(fā)射
4.2x10-4Torr的離子源將在四極區(qū)域產(chǎn)生大約1x10-5Torr的壓強
5.EM開啟且保壓時間為1秒時離子源處的MDPP
6.質量數(shù)40對41 AMU的貢獻
7.零沖擊對2 AMU的貢獻
8.空氣中的氪的最小可檢出濃度@ 1秒保壓時間
9.適用于1 Torr孔板或更低設置。0.1至2倍標稱孔板壓強條件下的線性@低發(fā)射
