100,200和300amu
優(yōu)于1amu的分辨率
5*10e-14 Torr探測極限
含四極探頭,電子控制單元(ECU)
實時window視窗 軟件包,用于數(shù)據采集和分析,以及探針控制
RS232接口
SRS的殘余氣體分析儀提供的性能和價值。 這些RGA是同類產品中價格的一半。 每個RGA的系統(tǒng)有完成一個四極探頭,電子控制單元(ECU),以及實時window視窗 軟件包,用于數(shù)據采集和分析,以及探針控制。
堅固的探頭設計
探頭由一個離子發(fā)生器,四極桿質量過濾器和檢測器。 簡單的設計有一個小的部件數(shù)目減少氣體釋放,降低了您的真空系統(tǒng)中引入雜質的機會。 探頭大會崎嶇到一個標準的2.75英寸的CF卡法蘭坐騎。 它是覆蓋著不銹鋼管與電離化的要求只有2英寸半的清理您的真空系統(tǒng)的異常,大約是一個標準的離子規(guī)。 探頭設計采用自動調心,因此可以很容易地清洗后重新組裝零件。
緊湊型電子控制單元
用于控制的RGA頭所有必需的電子元件。 它是由外部+24 VDC的要么是(2.5)電源供應器或一個可選,內置電源模塊,插入交流電源插座的插頭。 LED指示燈,提供有關電子倍增器,長絲,電子系統(tǒng)和探頭狀態(tài)的即時反饋。 歐洲貨幣單位可以很容易地刪除從高溫bakeouts探頭。
的燈絲設計
長壽命,雙涂釷銥(芹苴2 / IR)的長絲用于電子發(fā)射。 雙壽2 /銥絲持續(xù)更長的時間比單絲,限度地更換燈絲之間的時間。 不像其他的設計,SRS的細絲可以取代在幾分鐘之內的用戶。
電子倍增器
法拉第杯探測器系統(tǒng)的標準與SRS RGA的,允許從10 -5分壓測量,以5 × 10 -11托。 為了提高靈敏度和更快的掃描速率,可選的電子倍增器是所提供的檢測分壓下降到5 × 10 -14托。 這個國家的的宏觀多通道連續(xù)打拿極電子倍增器(CDEM)提供了更高的壽命和穩(wěn)定性,也可以由用戶一個個RGA更換!
實用功能
所有的RGA有一個內置的脫氣功能。 利用電子碰撞解吸,離子源是清洗,大大減少了靜電消除器的背景噪聲的貢獻。
一個固件驅動的燈絲保護功能的不斷監(jiān)視(675赫茲)以上的壓力。 如果檢測到過壓,燈絲會立即關閉,保留其壽命。
一個的溫度補償,對數(shù)靜電檢測10 -15 -7到10安培的電流從一個單離子掃描精度優(yōu)于2%。 這個巨大的動態(tài)范圍意味著你可以利用小型和大型氣體濃度測量同時進行。
完成可編程
與計算機通信是由通過RS-232接口。模擬和直方圖(條)掃描,泄漏檢測和探頭參數(shù)控制和監(jiān)測都通過高層次的命令集。 這使得易于集成到現(xiàn)有的方案。
RGA的Windows軟件
支持的RGA系統(tǒng)與實時視窗 軟件運行在PC上。 直觀的圖形用戶界面允許測量,作出迅速和容易。 該方案是互動,讓用戶對圖形顯示的控制。 屏幕可以為雙模式操作分割,規(guī)??梢栽O置為線性或日志格式,數(shù)據可以手動或自動縮放。 數(shù)據捕獲和實時顯示或收購安排在長期測井資料給定的時間間隔。 其功能包括用戶可選的單位(托,毫巴,扒和A),可編程的音頻和視覺警報和全面的在線幫助。
該軟件還允許完成RGA的大規(guī)模調整,方便,靈敏度校準,電離設置和電子倍增器增益調節(jié)頭部控制。 進一步分析,數(shù)據文件可以以ASCII格式保存到電子表格更容易轉移。 圖形圖像可以被保存為元文件或復制到剪貼簿,直接導入到其他Windows 方案。 該軟件還提供了鎖定了頭參數(shù),使普通用戶無法改變重要設置密碼保護。 一個LabVIEW的dirver也可在網站的SRS。 一個可選的獨立顯示器( PPM100 )可以用來控制電腦主機的RGA沒有。
多頭操作
該軟件支持多種操作時頭部多個RGA的需要。 多達八個歐洲貨幣單位,可以從軟件監(jiān)控。
性能和價值
該家族是個RGA的SRS涉及氣體分析,泄漏檢測,真空處理應用的理想選擇。 我們提供,200和300,100RGA系統(tǒng),支持Windows的軟件和選項,其中包括一個電子倍增器和一個內置電源模塊,AC線運行。
產品規(guī)格:
操作
質量范圍
RGA100 1 to 100 amu
RGA200 1 to 200 amu
RGA300 1 to 300 amu
質量濾波器類型 四極桿
探測器類型 法拉第杯(FC)—標準,電子倍增器 (EM)—可選
分辨率 Better than 0.5 amu @ 10 % peak height (per AVS std. 2.3).
靈敏度(A/Torr) 2 × 10-4 (FC), <200 (EM). User adjustable throughout high voltage range. Measured with N2 @ 28 amu with 1 amu full peak width, 10 % height, 70 eV electron energy, 12 eV ion energy, and 1 mA electron emission current.
最小可檢測分壓 5 × 10-11 Torr (FC). 5 × 10-14 Torr (EM). Measured with N2 @ 28 amu with 1 amu full peak width, 10 % height, 70 eV electron energy , 12 eV ion energy, and 1 mA electron emission current.
工作壓力 10-4 Torr to UHV (FC)
10-6 Torr to UHV (EM)
工作溫度 70 °C
焙烤溫度 300 °C (without ECU)
電離源
布局 Open ion source, cylindrical symmetry, electron impact ionization.
材料 SS304 構造
燈絲 Thoriated-iridium (dual) with firmware protection. Built-in 1 to 10 W degas ramp-up. Field replaceable.
電子能量 25 to 105 V, programmable
離子能量 8 or 12 V, programmable
聚焦電壓 0 to 150 V, programmable
電子發(fā)射電流 0 to 3.5 mA, programmable
一般
探頭尺寸 8.75" from flange face to top of ionizer
探頭直徑 2.0"
探頭法蘭尺寸 2.75" CF
最小管徑 1.375"
ECU尺寸 3.1" × 4.1" × 9.1" (WHD). Easily separated from the probe for bakeout.
LED指示燈 Power ON/OFF, filament ON/OFF,degas ON/OFF, electron multiplierON/OFF, RS-232 Busy, Error,Overpressur,ility ±0.1 amu after 30 minutes
電腦接口 RS-232C, baud with highlevel command set
軟件 Windows based application
電源要求 24 VDC @ 2.5 amps, male DB9 connector, optional built-in power module for AC line operation
重量 6 lbs.
保修 一年(由產品質量和工藝問題引起)