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| AQS系列全自動清洗甩干機是根據(jù)半導體產(chǎn)業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和市需求而研發(fā)的全自動清洗甩干設 備，具有高潔凈度旋轉清洗甩干功能。主要用于硅圓片、太陽能電池等類似材料的清洗甩干。是光伏、半導 體濕法清洗工藝中的主要設備之一。 AQS系列機型針對不同用戶、不同工藝要求、不同應用場合開發(fā)了系列化機型。用戶可按自已的要求和不 同工藝選擇適合自已的機型型號和功能配置要求。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 系統(tǒng)構成 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 整機采用4、6或8工位式組合結構，適用于103mm，125mm， 156mm三種規(guī)格的硅片，實現(xiàn)包括旋轉清 洗甩干、氮氣烘干、腔體干燥、工作完成自動開門、工況顯示和故障報警在內(nèi)的全自動工藝處理過程。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 結構與特點 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 外觀新穎、簡潔、流暢。主要部件采用不能磁化的不銹鋼材料。 工作過程中，清洗工作腔與外界密封隔離。 工作腔、旋轉支架及載片架均采用耐腐蝕不銹鋼，表面經(jīng)特殊嚴電化學處理； 旋轉機構經(jīng)精密的動、靜平衡校驗，保證系統(tǒng)工作時的平衡性、減少振源的產(chǎn)生。 精密的動、靜平衡保證使得放硅片盒夾具與甩干機的位置無需一一對應，操作方便。 采用寬頻率的特種阻尼器，精密減震及阻尼。使系統(tǒng)具有良好的減震效果。 采用驅(qū)動電機，進口變頻器，提速平穩(wěn)；采用磁力平衡制動，速度快，制動平均時間小于20秒。 特制噴頭和氣液流體控制系統(tǒng)，全自動切換控制。 管道、閥門、接頭采用304不銹鋼、聚四氟材料和高純管件。 采用氣缸實現(xiàn)自動開門手動關門，平穩(wěn)安全可靠。 工作中采用防靜電控制。 頂蓋采用硅橡膠加熱板輔助加熱系統(tǒng)，保證頂蓋烘干后干燥不滴水。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 控制系統(tǒng) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 采用PLC可編程控制器及保色觸摸顯示屏.程序控制智能化。 程序設計可靠。速度調(diào)節(jié)，溫度調(diào)節(jié)，時間調(diào)節(jié)等每道程序指令用戶都可以在觸摸屏上任意設定、修改、保存。 運行過程、內(nèi)容、信息（包括故障信息）在工作過程中均在觸摸顯示屏漢顯，操作人員對設備的工藝步驟、運行狀態(tài)一目了然。 采用電子變頻調(diào)速技術無級調(diào)速，速度提升變換穩(wěn)定。 系統(tǒng)軟件具有故障實時顯示及報警功能。 所有電控元器件均采用國際國內(nèi)品牌。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 安全與保障 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 采取了水、氣過程狀態(tài)監(jiān)控、門位置狀態(tài)監(jiān)控與互鎖、氮氣加熱溫度實時監(jiān)控、緊急停止開關等相關措施； 采用微處理器檢測實時工作狀態(tài)。具有關門故障報警、超溫報警、驅(qū)動電機過載報警、低油位報警、制動故障報警、多種傳感器故障報警等； 具有整機漏電保護裝置和接地端子。
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