一、主要參數(shù):
1. 外形尺寸 2220L×1120W×1850H(mm)
2. 花籃規(guī)格 50、25片
3.硅片尺寸 125mm、156mm
4.硅片厚度 140~200um
5. 適用硅片 單晶硅、多晶硅
6. 生產(chǎn)能力 >5000片/小時(shí)
7. 碎片率 <0.2%
8. 控制系統(tǒng) PLC可編程控制器,交流伺服系統(tǒng)
9. 氣壓 0.4~0.5Mpa 干燥氣體
10.氣源流量 進(jìn)氣管管徑≥8mm
11.電源 AC220V(單相三線)、50HZ
12.設(shè)備功率 2.5KW
二、特點(diǎn)介紹
1. 該設(shè)備的分片機(jī)構(gòu)可對(duì)任何狀態(tài)的硅片,包括粘滿砂漿的硅片進(jìn)行均勻分離;該技術(shù)已申請(qǐng)實(shí)用新型;
2. 硅片帶離原理:該部件為設(shè)備的核心技術(shù),由南亞自行研發(fā)成功,并已申請(qǐng)二項(xiàng)發(fā)明。我們摒棄常規(guī)直接吸取硅片方式而是通過(guò)吸水(硅片和輸送帶始終有一定的間距),使得分離后的硅會(huì)順著水流方向靠向輸送帶無(wú)接觸式帶離,對(duì)硅片無(wú)任何損傷。同時(shí)該技術(shù)已為超薄(<140mm)的硅片使用全自動(dòng)插片機(jī)奠定了基礎(chǔ),厚薄硅片可使用同一設(shè)備;
3. 帶片速度的控制為非開(kāi)關(guān)模式,通過(guò)輸送帶轉(zhuǎn)速變化實(shí)現(xiàn)帶片速度的變化,轉(zhuǎn)速根據(jù)工況可設(shè)定;
4. 帶片/上料部分結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)易巧妙,水下幾乎無(wú)運(yùn)動(dòng)部件,極大地減少使用過(guò)程中對(duì)設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)工作;
5. 硅片發(fā)料周轉(zhuǎn)盒可在脫膠后直接裝入硅片使用,減少周轉(zhuǎn)環(huán)節(jié),方便操作人員實(shí)現(xiàn)一人多機(jī)工作;
6. 裝滿硅片的盒子通過(guò)翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)翻轉(zhuǎn)90后放上傳送帶,即方便操作工拿?。ú蝗菀卓呐龊袃?nèi)硅片),又為全自 動(dòng)生產(chǎn)線的下道工序做好準(zhǔn)備;
7. 圓帶輸送和硅片入盒前無(wú)需接觸式定位裝置(夾硅片),有效避免崩邊和硅落的可能;
8. 硅片視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)采用相機(jī)成像技術(shù),精準(zhǔn)可靠;可根據(jù)用戶需要添加各種不同功能的模組,對(duì)設(shè)備進(jìn)行功能性的升級(jí);
9. 異常硅片分離系統(tǒng):采用硅片分選機(jī)原理,對(duì)異常硅片識(shí)別后自動(dòng)分離。
三、控制系統(tǒng)
1.采用三菱可編程控制器,功能齊全運(yùn)行可靠
2.運(yùn)行模式和程序參數(shù)均可在觸摸屏上設(shè)定
3.配置三菱交流伺服系統(tǒng)進(jìn)行高精度定位
4.OMRON高靈敏度傳感器監(jiān)控,實(shí)現(xiàn)設(shè)備完備 的系統(tǒng)運(yùn)行保障
5.動(dòng)態(tài)日志管理
6.故障監(jiān)控、診斷、報(bào)警及設(shè)備保養(yǎng)需求的自動(dòng)生成
四、視覺(jué)系統(tǒng)
1.采用德國(guó)堡盟(Baumer)視覺(jué)系統(tǒng),對(duì)輸送過(guò)程中異常硅片進(jìn)行視覺(jué)判斷;
2.基于輪廓的工作模式
3.集成360°目標(biāo)識(shí)別功能確??煽康奶卣鳈z查和判斷
4.采用紅外光源,減小外部光源對(duì)檢測(cè)結(jié)的影響
5.支持IE瀏覽器遠(yuǎn)程查看