讀數(shù)的 ±0.125％ — 更低的氣流校準(zhǔn)不確定度
福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部的全新 molbox1+ 流量終端是對(duì) molbloc/molbox 氣流校準(zhǔn)系統(tǒng)的一次重大升級(jí)。molbox1+ 結(jié)合了 molbox 流量元件，可確保您獲得氣流計(jì)校準(zhǔn)和控制器校準(zhǔn)工作的不確定度。特別配置版 molbox1+S 可讓您在壓力下使用 molbloc-S 音速噴嘴流量元件，而且極其精準(zhǔn)，大大擴(kuò)展了產(chǎn)品的流量使用量程。
molbloc/molbox1+ 氣流校準(zhǔn)系統(tǒng)是氣流計(jì)校準(zhǔn)、和校準(zhǔn)熱質(zhì)量流量控制器 (MFC)、轉(zhuǎn)子流量計(jì)、氣泡檢測(cè)儀以及其他流量測(cè)量設(shè)備的解決方案。molbloc/molbox 可開(kāi)展實(shí)時(shí)測(cè)量，無(wú)需移動(dòng)部件且獲得多個(gè)不同氣體與工作壓力的可溯源校準(zhǔn)支持，因此能夠應(yīng)對(duì)幾乎任何校準(zhǔn)應(yīng)用。molbloc/molbox 系統(tǒng)在很多行業(yè)內(nèi)得到廣泛應(yīng)用，包括制藥、半導(dǎo)體、航空、環(huán)境監(jiān)測(cè)、發(fā)電、參考?xì)怏w配方、以及研究和標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室。
不確定度參數(shù)
molbox1+ 的創(chuàng)新性讓 molbloc/ molbox1+ 系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了低的氣流測(cè)量不確定度。多個(gè)關(guān)鍵點(diǎn)的改善讓更低的不確定度成為可能，包括：
- 使用福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部專有的石英參考級(jí)壓力傳感器 (Q-RPT) 技術(shù)來(lái)精確測(cè)量絕壓和差壓。molbox1+ Q-RPT 是根據(jù)福祿克計(jì)量的校準(zhǔn)部壓力傳輸標(biāo)準(zhǔn)在相同技術(shù)下專門定做的傳感器。
- 高級(jí) molbloc 校準(zhǔn)作業(yè)能夠使 molbloc 流量輸出線性化，從而更好地獲取準(zhǔn)確度和可溯源性。
- 擴(kuò)展 molbloc 模式化可提高 molbloc-L 層流元件在工作壓力量程內(nèi)的性能。
- 利用 NIST 參考液體熱動(dòng)力與輸送屬性數(shù)據(jù)庫(kù) (REFPROP) 來(lái)降低氣體屬性的不確定度。
- 使用福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部的動(dòng)態(tài)重力流量標(biāo)準(zhǔn)來(lái)進(jìn)行基礎(chǔ)質(zhì)量與時(shí)間質(zhì)量流量測(cè)量，并以此基礎(chǔ)不斷改善福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部的 molbloc 校準(zhǔn)鏈。
現(xiàn)有兩種等級(jí)的 molbloc 流量元件校準(zhǔn)作業(yè)，方便您平衡不確定度和成本要求：
- 高等級(jí)：流量測(cè)量不確定度為讀數(shù)的 ±0.125％（帶 molbox1+）
- 標(biāo)準(zhǔn)等級(jí)：流量測(cè)量不確定度為讀數(shù)的 ±0.2％（帶 molbox1 或 molbox1+）
全新 molblocs 則配套以上兩種校準(zhǔn)等級(jí)類型。現(xiàn)有 molblocs 可兼容不確定度為 ±0.2％ 讀數(shù)的 molbox1+，無(wú)需作出任何調(diào)整。原有 molblocs 的升級(jí)服務(wù)可方便適配高級(jí)校準(zhǔn)和測(cè)量，詳見(jiàn)以下說(shuō)明。
福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部的不確定度參數(shù)較為保守，而且也進(jìn)行過(guò)不確定度分析和計(jì)量支持。福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部的創(chuàng)新與設(shè)計(jì)仍將繼續(xù)以確保產(chǎn)品能夠?yàn)橛脩粼趯?shí)際應(yīng)用而不是假設(shè)環(huán)境下實(shí)現(xiàn)參數(shù)功能作為目標(biāo)。
molbox1+S 音速噴嘴校準(zhǔn)設(shè)備擴(kuò)展了量程可調(diào)性，不含真空泵的 molbox1+S 是 molbox 1+ 的特定配置，使您能夠使用 molbloc-S 音速噴嘴流量元件來(lái)覆蓋更大量程（10:1 調(diào)節(jié)），而且無(wú)需配備昂貴的真空泵。molbox1+S 音速噴嘴校準(zhǔn)設(shè)備配套上游 Q-RPT 壓力量程，可達(dá) 2 MPa (300 psia)，可在大氣壓下（常規(guī)應(yīng)用）在要測(cè)試的流量計(jì)的寬流量量程上游輕松使用 molbloc-S 元件。更廣的可調(diào)量程將使用更少的 molbloc 元件和附件，令校準(zhǔn)系統(tǒng)配置變得更簡(jiǎn)單。而且在增加高壓 molbloc 校準(zhǔn)時(shí)還能大大拓展您原有 molbloc-S 元件的量程。
常壓下測(cè)試設(shè)備時(shí) molbloc-S 的量程舉例
| Molbloc-S 元件 | 配合 SP 校準(zhǔn)和 molbox1 A700K 的可用量程 | 配合 HP 校準(zhǔn)和 molbox1+S A2M 的可用量程 |
| 1E2-S | 15 到 50 slm* | 20 到 200 slm* |
| 5E2-S | 67 到 250 slm* | 100 到 1000 slm* |
*在用于常壓下設(shè)備上游時(shí)，配合 SP 校準(zhǔn)下 molbloc-S 的可用流量受到音速流背壓要求所限制。流量值單位為標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘，參考溫度 0℃。
molbox1+S 設(shè)計(jì)用于與 molbloc-S 音速噴嘴校準(zhǔn)設(shè)備配合使用，因此僅針對(duì)絕壓測(cè)量進(jìn)行配置，從而降低了成本。它還可降低流量系統(tǒng)的復(fù)雜性和總成本以及持續(xù)反復(fù)校準(zhǔn)成本。
在多種應(yīng)用中使用相同的 molbloc
多重 molbloc 校準(zhǔn)作業(yè)現(xiàn)在可支持各類氣體。這就意味著您現(xiàn)在可以分別校準(zhǔn) molbloc 以便在高壓（受測(cè)設(shè)備上游）和低壓（受測(cè)設(shè)備下游）下使用，從而支持不同應(yīng)用類型，無(wú)需再使用兩臺(tái) molbloc 或手動(dòng)加載不同 molbloc 校準(zhǔn)文件。所有校準(zhǔn)情況均保存在 molbloc EEPROM 當(dāng)中，用戶只需從 molbloc+ 前面板中或通過(guò) molbloc+ 遠(yuǎn)程接口選擇校準(zhǔn)類型即可。
用于 molbox 的 COMPASS® 以及全新的 COMPASS® for Flow 軟件帶來(lái)了自動(dòng)化和更多性能
COMPASS 校準(zhǔn)輔助軟件讓 molbloc/molbox 朝自動(dòng)化校準(zhǔn)又邁進(jìn)了一步。COMPASS 與個(gè)人計(jì)算機(jī)配合 molbloc/molbox 開(kāi)展工作，為流量設(shè)備的校準(zhǔn)和測(cè)試創(chuàng)造了現(xiàn)代化全功能統(tǒng)包式系統(tǒng)。
COMPASS 負(fù)責(zé)設(shè)定受測(cè)設(shè)備 (UUT) 記錄（或者受測(cè)單元），定義并協(xié)助受測(cè)設(shè)備的測(cè)試進(jìn)程、運(yùn)行測(cè)試、采集參考值和測(cè)試數(shù)據(jù)、提供標(biāo)準(zhǔn)并自定義校準(zhǔn)報(bào)告。質(zhì)量流量設(shè)備的氣體糾正因素和體積測(cè)定設(shè)備如轉(zhuǎn)子流量計(jì)的氣體密度糾正能夠輕松獲得支持，還可以選擇使用壓力和溫度測(cè)量的自動(dòng)輸入壓力來(lái)動(dòng)態(tài)計(jì)算和糾正流量。所有參考值、DUT 以及測(cè)試數(shù)據(jù)都會(huì)收集并存儲(chǔ)在標(biāo)準(zhǔn)限定文件當(dāng)中，方便輕松下載到其他應(yīng)用程序內(nèi)。
COMPASS for Flow 作為新款軟件，為流量校準(zhǔn)作業(yè)帶來(lái)了原先只有福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部 COMPASS for Pressure 所能提供的特性。這些特性包括：
- 向福祿克 MET/TRACK® 軟件導(dǎo)出數(shù)據(jù)。
- 為需要自定義計(jì)算輸出指示的受測(cè)設(shè)備帶來(lái)增強(qiáng)型支持，一次提供特別通訊支持和多設(shè)備校準(zhǔn)功能。
- 支持宏命令以應(yīng)付幾乎無(wú)限制的測(cè)試系統(tǒng)自動(dòng)化。
- 對(duì)附件設(shè)備如 MFC-CB（DHI 質(zhì)量流量控制器控制箱）更完整更靈活的支持。
升級(jí)輕松
從 molbox1 升級(jí)到 molbox1+ 既經(jīng)濟(jì)又簡(jiǎn)便。可在福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部的菲尼克斯工廠進(jìn)行軟硬件升級(jí)。為升級(jí)并獲取 molbox1+ 的全新參數(shù)性能與特性，福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部會(huì)為您的系統(tǒng)進(jìn)行如下步驟的處理。
- 變更 molbox1+ 軟/硬件 可變更任何需要的部件來(lái)讓您的 molbox 等同于工廠生產(chǎn)的 molbox1+ 設(shè)備。molbox 內(nèi)置軟件刷寫(xiě)至 6.0版。提供給您兩種選擇：升級(jí)原有 molbox1 以滿足 molbox1+ 的參數(shù)性能，或以舊換新購(gòu)入全新 molbox1+，可對(duì)部分關(guān)鍵部件進(jìn)行再利用，以此節(jié)降成本。
- molbox1 內(nèi)部壓力變送器的 Q-RPT 特性指標(biāo)。原有兩款內(nèi)部壓力傳感器可在新的 molbox1+ 中使用。變送器的廣泛特性提高了自身的準(zhǔn)確度并確保其符合 molbox1+ 的參數(shù)性能。
- molbloc 硬件升級(jí)。molbloc-L 或 molbloc-S 元件與 molbox1+ 一同使用需要對(duì)硬件進(jìn)行修整以支持高級(jí)不確定度參數(shù)性能和新的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。
- 新的 molbloc 氣體校準(zhǔn)。molblocs 已經(jīng)全模式化并已經(jīng)根據(jù)硬件升級(jí)要求進(jìn)行校準(zhǔn)，從而令用于 molbox1+、福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部改善型校準(zhǔn)鏈已經(jīng)全新 molbloc 線性度和模式技術(shù)的增強(qiáng)式氣體屬性數(shù)據(jù)突顯優(yōu)勢(shì)效益。
我們會(huì)對(duì)整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)行升級(jí)并送還到您手上，并附帶參數(shù)性能與校準(zhǔn)證書(shū)。新系統(tǒng)所占用的成本微乎其微。
常規(guī)參數(shù) | |
| 電源要求 | 85V ac 到 264V ac, 47 Hz 到 440 Hz, 功耗 18 VA |
| 標(biāo)稱工作溫度量程 | 15℃ 到 30℃（59℉ 到 86℉） |
| 儲(chǔ)存溫度量程 | -20℃ 到 70℃（-4℉ 到 158℉） |
| 震動(dòng) | 符合 MIL-T-28800D 標(biāo)準(zhǔn) |
| 重量 | 6.8 kg (15 lb) |
| 尺寸（寬 x 高 x 厚） | 約 32 cm x 12 cm x 30 cm (12.6 in x 4.7 in x 11.8 in) |
| 通訊端口 | RS-232 (COM1), RS-232 (COM2), IEEE-488.2 |
| 壓力連接（molbox1+ 與 molbloc） | 快速連接口，等同于 Swagelok® QM 串口 (SS-QM2-B200) |
| 流量量程 | <1 sccm 到 >5000 slm 請(qǐng)參見(jiàn) molbloc-L 與 molbloc-S 的不同量程表 |
| 流量測(cè)量速率 | 1 秒 |
| 支持氣體 | 氮?dú)?(N2)、空氣、氬氣 (Ar)、一氧化碳 (CO)、氦氣 (He)、氧氣 (O2)、二氧化碳 (CO2)、四氟化 (CF4)、乙烷 (C2H6)、乙烯 (C2H4)、三氟甲 (CHF3)、六氟代乙烷 (C2F6)、氫氣 (H2)、甲烷 (CH4)、一氧化二氮 (N2O)、丙烷 (C3H8)、六氟化硫 (SF6)、丁烷 (C4H10)、氟環(huán)丁烷 (C4F8)、氙氣 (Xe) |
| 驅(qū)動(dòng)閥選件 | (8) 12 V 輸出 各項(xiàng)輸出可在 12 V 時(shí)下降 500 mA， 1 A |
| MFC 控制選件（模擬輸入/輸出） | 額定電壓量程： 0V dc 到 6V dc 輸入 0V dc 到 5V dc 輸出 額定電流量程： 4 mA 到 20 mA 輸入 4.01 mA 到 20 mA 輸出 準(zhǔn)確度： ±0.1％ FS（設(shè)定）、±0.05％ FS（測(cè)量） |
壓力測(cè)量 | |
| 類型 | Q-RPT 特性石英參考級(jí)壓力變送器 — 使用如下機(jī)械擺動(dòng)石英晶體 |
| 校準(zhǔn)壓力量程（全刻度） | A700K：0 到 600kPa 絕壓（0 到 87 psia） |
| 測(cè)量不確定度（一年內(nèi)） | 絕壓 4 差壓（A700K 帶包裝） 差壓（A350K 帶包裝） |
溫度測(cè)量 | |
| 類型 | 帶 molbox1+ 電阻測(cè)量系統(tǒng)的 molbloc PRT |
| 量程 (FS) | 0 到 40℃ |
| 分辨率 | 0.01 °CC |
| molbloc PRT 精度 | ±0.02℃（15 到 30℃） |
| 板載 | 參考電阻器 電阻測(cè)量 |
流量測(cè)量 | ||
| molbloc-L 層流元件 | ||
|
| 標(biāo)準(zhǔn) molbloc 校準(zhǔn) | 高級(jí) molbloc 校準(zhǔn) |
| 范圍 | molbloc 全刻度的 0 到 100％ | molbloc 全刻度的 0 到 100％ |
| 分辨率 | 0.0015 % FS | 0.0015 % FS |
| 精度 1 | 讀數(shù)的 ±0.07％ | 讀數(shù)的 ±0.07％ |
| 穩(wěn)定性（一年內(nèi)）2 | 讀數(shù)的 ±0.09％， | 讀數(shù)的 ±0.03％ |
| 測(cè)量不確定度 3 | 讀數(shù)的 ±0.2％ | 讀數(shù)的 ±0.125％ |
| 帶 molbloc-S 音速流元件 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn) molbloc 校準(zhǔn) | 高級(jí) molbloc 校準(zhǔn) | |
| 范圍 | molbloc 全刻度的 10％ 到 100％ | molbloc 全刻度的 10％ 到 100％ |
| 分辨率 | 0.0015 % FS | 0.0015 % FS |
| 精度 1 | 讀數(shù)的 ±0.06％ | 讀數(shù)的 ±0.06％ |
| 穩(wěn)定性（一年內(nèi)）2 | 讀數(shù)的 ±0.05％ | 讀數(shù)的 ±0.03％ |
| 測(cè)量不確定度 3 | 讀數(shù)的 ±0.2％ | 讀數(shù) 4 的 ±0.125％ |
1 精確度：包含線性度、遲滯和可重復(fù)性。
2 穩(wěn)定性：典型 molbox 和 molbloc 在典型環(huán)境下使用時(shí)特定時(shí)間段內(nèi)從零到范圍值的變化情況由于穩(wěn)定性可以預(yù)測(cè)，特定 molbox 與 molbloc 的穩(wěn)定性可以根據(jù)經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行判斷。
3 測(cè)量不確定度：molbox1+ 流量指示值與流經(jīng) molbloc 的流量真值的偏移量，包括精度、穩(wěn)定性和福祿克計(jì)量校準(zhǔn)。對(duì)于不確定度的完整說(shuō)明請(qǐng)參見(jiàn)技術(shù)說(shuō)明 2011TN06B UNCERTAINTY ANALYSIS FOR FLOW MEASURED BY molbloc-L AND molbloc-S MASS FLOW TRANSFER STANDARDS（molbloc-L 與 molbloc-S 質(zhì)量流量傳輸標(biāo)準(zhǔn)所測(cè)量出的流量的不確定度分析）
4 正常使用 Autozero（自動(dòng)清零）功能。對(duì)于一年不使用 Autozero 功能的情況，需在 Q-RPT 范圍內(nèi)再增加 0.005％（即 molbloc-S 的 0.005％ FS，對(duì) molbloc-S 標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)或 molbloc-L 不確定度影響不大。）
所有不確定度參數(shù)報(bào)告均為 k=2
