晶圓表面三維測量儀

1) 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能；幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。

2)  測量中提供自動多區(qū)域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調(diào)亮度等自動化功能。

3)  分析中提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

4) 一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進(jìn)行切換界面，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能。

標(biāo)準(zhǔn)配置

1）主機(jī)

2）影像系統(tǒng)：1024×1024；

3）光學(xué)Zoom：1×；

4）XY位移載物臺：自動位移臺；

5）物鏡轉(zhuǎn)盤：3孔手動

5）品牌計算機(jī)；

6）校準(zhǔn)模塊；

7）操縱手柄；

8） 3D表面輪廓儀軟件一套；

9）電氣控制柜；

10）儀器配件箱；

11）便攜加壓充氣裝置一套；

可選配置：

1） 干涉物鏡：2.5×、5×、10×、20×、50×、100×

2） 自動光學(xué)變倍目鏡： 0.5×、1×、2×

3） 真空吸附臺(半導(dǎo)體晶圓片專用)：6寸、8寸、12寸

4） 自動測量拼接測量功能模塊

5） 物鏡轉(zhuǎn)盤：5孔電動

晶圓表面三維測量儀參數(shù)表

產(chǎn)品應(yīng)用范圍