晶圓玻璃厚度測量儀
1: 批量設置元素的公差帶及名義值.
在設置元素的公差帶和名義值時,不用一個元素一個元素的設置,這樣效率很低,可一次性批量設置公差帶和名義值,提高效率.
2: 可建立多重工件座標系。并可以建立多重Z軸座標系。
晶圓玻璃厚度測量儀可以建立多重工件座標系。并可以在多個不同的Z軸平面上建立不同的Z軸座標系,這對有臺階的工件,且不同的臺階厚薄不一時,非常有用。
當建立多重工件座標系時,測量的數(shù)據(jù)的可以在哪一個座標系測量的,就顯示哪一個座標系下的數(shù)據(jù),也可以只顯示在當前座標系下。
3:大半徑小圓弧的精準測量
軟件創(chuàng)新算法,可以精準測量大半徑小圓弧,特別是小于45度的小圓弧,能作到精準測量,解決了業(yè)界的一大難題。
4:符合國家標準的形位公差計算能力。
可以計算直線度,圓度,位置度,輪廓度,平行度,傾斜度,垂直度,同心度,對稱度。
5:功能強大的自定義報表功能??梢园纯蛻舻膱蟊硪螅敵鰣蟊?/p>
6: 快速精準的影像對焦功能。一次對焦動作,最快可以1秒完成。如果對焦時間設到2到3秒。對焦重復性可達0.002mm----0.003mm
7:可以在運行程序的過程中暫停執(zhí)行程序,并對某誤抓的元素修改后,繼續(xù)向下測量
8:可以運行的程序步聚并將相應的數(shù)據(jù)發(fā)送到相應的EXCEL中。比如,當程序運行結(jié)果后,發(fā)現(xiàn)第5步,第8步,第23步超差,可以讓機器重新測量一次第5,8,23步,并將對應的數(shù)據(jù)發(fā)送到EXCEL中。