Augent™ OPG550光學等離子體真空計
INFICON Augent™光學等離子體真空計是一種緊湊型智能真空監(jiān)測解決方案。體積小巧的Augent™集兩種傳感器技術于一身。進行氣體類型監(jiān)測時,壓力測量范圍為1 × 10-7至5毫巴;總壓力測量范圍可達1 × 10-7毫巴至大氣壓。Augent™自帶具有保護作用的皮拉尼傳感器,當壓力超出20巴時可以關閉等離子體。在1 × 10-7至5毫巴的測量范圍內,該儀表可用于檢測氧氣、氮氣、氫氣或氬氣等氣體。
優(yōu)勢
• 高速檢漏,可進行試驗箱泄漏檢查
• 提高生產率和產量
• 使用壽命長,燈絲不易燒毀,防空氣侵入
• 耐過程化學腐蝕
• 采用智能算法,易于集成
• 結構緊湊,空間占用小
• 啟動快速可靠
應用范圍
• 試驗箱泄漏檢查,提供更快的RoR (上升速率)試驗速度
• 進行泄漏檢查,以查找供氣管路的內部泄漏
• 實時端點控制
• 氣體類型和濃度控制
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