中圖儀器3d輪廓掃描儀是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。
中圖儀器3d輪廓掃描儀通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，其分辨率可達0.1nm。雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設計，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗У恼駝?，同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動，確保儀器在車間也能正常工作。
產(chǎn)品功能
1）設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；
2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；
3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；
4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
測量應用
在3C領域，可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；
在LED行業(yè)，可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度；
在光纖通信行業(yè)，可以測量光纖端面缺陷和粗糙度；
在集成電路行業(yè)，可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；
在EMES行業(yè)，可以測量臺階高度和表面粗糙度；
在軍事領域，可以測量藍寶石觀察窗口表面粗糙度。
