SE 800 PV 激光橢偏儀
SENTECH設(shè)計(jì)了SE 800 PV,用于表征由SiNx/SiO2、SiNx/SiNy或SiNx/Al2O3組成的多層鈍化膜和防反射涂層。分析了單晶和多晶硅太陽(yáng)電池的折射率指數(shù)、吸收和膜厚。在配方模式下進(jìn)行復(fù)雜的測(cè)量,速度快,操作容易。
紋路晶片
防反射涂層和鈍化層可以在單晶和多晶硅晶片上測(cè)量。
疊層防反射涂層
可以分析SiO2/SiNx、Al2O3/SiNx和SiNx1/SiNx2的涂層。
操作簡(jiǎn)單
不管是專(zhuān)家還是初學(xué)者,光譜橢偏儀SE 800 PV都提供了簡(jiǎn)單的操作。配方模式特別適合質(zhì)量控制所需的常規(guī)應(yīng)用。
光譜橢偏儀SE 800 PV是分析結(jié)晶和多晶硅太陽(yáng)能電池防反射膜的理想工具??梢詼y(cè)量單層薄膜(SiNx、SiO2、TiO2、Al2O3)和多層疊層膜(SiNX/SiO2、SiNx1/SiNx2、SiNx/Al2O3)。
SE 800 PV是基于步進(jìn)掃描分析器測(cè)量模式。步進(jìn)掃描分析器模式允許將測(cè)量參數(shù)匹配到粗糙的樣本表面,同時(shí)所有光學(xué)部件都處于靜止?fàn)顟B(tài)。SE 800 PV的光源、光學(xué)部件和檢測(cè)器進(jìn)行了優(yōu)化,以符合SENTECH的目標(biāo),即快速、準(zhǔn)確地測(cè)量PV應(yīng)用的折射率指數(shù)、吸收和膜厚。
高測(cè)量靈敏度、去偏振校正和特殊的集光光學(xué)使SE 800 PV成為在粗糙樣品表面進(jìn)行光伏應(yīng)用的理想儀器。
光譜橢偏儀SE 800 PV具有操作簡(jiǎn)單的特點(diǎn)、便于研發(fā)應(yīng)用。SpectraRay/4,SENTECH專(zhuān)有的橢偏儀軟件,包括兩種操作模式。配方模式允許在質(zhì)量控制中輕松執(zhí)行常規(guī)應(yīng)用程序。交互模式具有指導(dǎo)性的圖形用戶(hù)界面,適合于研發(fā)應(yīng)用和新配方的開(kāi)發(fā)。
此外,SE 800 PV滿(mǎn)足SENresearch光譜橢偏儀系列的所有要求。