JSM-IT500 掃描電子顯微鏡
JSM-IT500是JEOL InTouchScope系列的新機(jī)型。 從設(shè)定視野到生成報(bào)告，用于分析的軟件整合于一體，加快了作業(yè)速度！是一款無(wú)縫操作，使用更加方便的掃描電子顯微鏡。
主要技術(shù)指標(biāo)
圖像倍率：
。3.0 nm (30 kV) 15.0 nm (1.0 kV)
。4.0 nm (30 kV BED)
。×5～×300,000
（以128 mm × 96 mm 作為顯示尺寸規(guī)定放大倍率）
顯示倍率：
。×14～×839,724
顯示器上的圖像倍率（以358 mm × 269 mm 作為顯示尺寸規(guī)定放大倍率）
電子槍?zhuān)?/strong>鎢燈絲 電子槍自動(dòng)合軸
加速電壓：0.3kV～30kV
低真空壓力設(shè)定：
。范圍※1 ：分辨率 高真空模式
。物鏡光闌：低真空模式*1
。自動(dòng)功能：燈絲調(diào)整、電子槍合軸調(diào)整，聚焦、像散、襯度/亮度調(diào)整
。樣品尺寸：
（1）200 mm直徑×75 mm高度
（2）200 mm直徑×80 mm高度※選配件
（3）32 mm直徑×90 mm高度 ※選配件
。樣品臺(tái)：大型全對(duì)中式
X：125 mm Y：100 mm Z：80 mm
傾斜：－10～90° 旋轉(zhuǎn)：360°
。圖像無(wú)縫拼接功能：標(biāo)配
。顯示測(cè)試位置座標(biāo)：直徑203 mm
。標(biāo)準(zhǔn)菜譜：有（包括EDS條件 ※2）
。圖像模式：二次電子像、REF像、成份像*1、形貌像*1、陰影像*1等
。獲取圖像的像素?cái)?shù)：640x480 1,280x960 2,560x1920 5,120x3,840
。OS：Microsoft®Windows®10 64bit
。顯示器：23寸觸摸屏
。EDS 功能*2：譜圖分析、定性分析/定量分析、線分析（水平線分析、任意方向線分析）元素面分布、電子束追蹤等
。測(cè)長(zhǎng)功能：有（兩點(diǎn)間距離、平行線間距離、角度、直徑等）
。數(shù)據(jù)管理功能：SMILE VIEW™ Lab
。生成報(bào)告功能：SMILE VIEW™ Lab
。語(yǔ)言切換：可以在UI 上（日語(yǔ)/ 英語(yǔ)）
。抽真空系統(tǒng)：自動(dòng) TMP：1 臺(tái)、RP：1臺(tái)或2臺(tái)※1
備注：Windows10 為美國(guó)微軟公司在美國(guó)及其它國(guó)家的注冊(cè)商標(biāo)或商標(biāo)
主要選配件
背散射電子檢測(cè)器（BED) ※1
低真空二次電子檢測(cè)器（LSED)能譜儀(EDS)※2
波譜儀（WDS）
電子背散射衍射檢測(cè)器(EBSD)
加載互鎖真空室（預(yù)抽室）
樣品臺(tái)導(dǎo)航系統(tǒng)（SNS）
樣品室觀察系統(tǒng)(CS)
操作面板
3D測(cè)量軟件操作臺(tái)
※1 為JSM-IT500LV/LA的標(biāo)配功能。
※2 為JSM-IT500LV/LA的標(biāo)配功能。
