性能指標(biāo)

質(zhì)量分辨率：29Si>12000，在m/z>200附近可以達(dá)17000以上；檢測極限：ppm~ ppb級；質(zhì)量范圍：~12000；檢測范圍：所有元素(含H、He)及同位素；橫向分辨率<70nm, 深度分辨率<1nm

主要應(yīng)用

譜圖檢測、化學(xué)成分成像及深度剖析測試，可應(yīng)用于分析有機、無機、納米材料（特別是半導(dǎo)體、電池材料）、微電子、生物醫(yī)學(xué)、地質(zhì)/考古、冶金、環(huán)境、人工智能等固體材料。 納米尺度下，對固體材料、生物組織或細(xì)胞進(jìn)行化學(xué)成像分析；半導(dǎo)體材料痕量雜質(zhì)分析(ppm至ppb)；薄膜樣品三維空間尺度化學(xué)成分分布及成像。

樣品要求

1、不能被測試的樣品種類： 放射性的樣品；真空中會釋放大量氣體、尤其釋放的氣體對不銹鋼具有腐蝕性的樣品，比如可以釋放出HCl+H2O,有化學(xué)毒性和生物毒性的樣品；低熔點樣品，如松香等，高密度束流濺射后可能會熔化；在制樣過程中容易快速潮解的樣品。

2、樣品物性/外形/尺寸：

（1）固體樣品（導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體）。其中薄膜、片狀、塊體：長×寬尺寸約10 mm × 10 mm~12 mm × 12 mm，厚度不大于5mm；

（2）盡量保持樣品上下表面平整（尤其待測面，越平整越好）；

（3）粉末樣品壓片后送樣。壓片時使用清潔的鋁箔包裹粉末樣品，以避免在加壓過程樣品表面被污染,壓片后的尺寸要求見（1）條。

（4）通過溶液涂膜方法制備薄膜樣品時，使用表面平整的導(dǎo)體或半導(dǎo)體作為襯底，例如：Si片， 鍍金的Si片，或銀片等。

3、送樣時注意事項：

（1）送樣時，請附上打印的預(yù)約單及送樣記錄單；

（2）待測試的樣品表面不能被沾污（如手摸拿，碰觸污染物等，制樣及裝樣過程中均需注意），所有樣品在送樣之前必須提前進(jìn)行真空干燥或者冷凍干燥；

（3）樣品中不得含有乙酸乙酯、氯仿、二氯甲烷、苯、環(huán)己烷、DMSO等有機試劑；

（4）易被氧化或易吸水樣品，在送樣過程中應(yīng)注意隔離空氣（如放保干器， 或高純Ar氣袋 ），或事先與我們聯(lián)系，商量解決辦法；

（5）用帶蓋的玻璃小試管、小容量瓶等容器裝樣；不要直接使用塑料容器、塑料袋、含硅的膠帶或膠面和紙袋，以免硅樹脂或纖維污染樣品表面。也可以使用干凈的鋁箔直接包裹樣品后放入干凈的玻璃器皿中送樣；

（6）如果高分子材料中含有殘余的揮發(fā)性有機試劑分子或小分子單體，務(wù)必先行在真空烘箱中抽除這些物質(zhì)。如果樣品置入ToF-SIMS預(yù)抽真空腔體內(nèi)，經(jīng)過一夜抽真空后依然無法抽至1e-7mbar以下，該樣品的測試將被取消；

（7）對薄膜、片狀、塊體樣品標(biāo)記出測試面；千萬注意：不能使用墨水筆在樣品上標(biāo)記測試面，以免墨水中的有機試劑污染待測樣品表面！?。τ诮饘倩虬雽?dǎo)體，高分子材料片狀，建議使用刀片或金剛石刻刀在不測的一面畫＂＋＂字；　另外，樣品袋上要用標(biāo)簽紙標(biāo)上預(yù)約人姓名；

（8）寫明分析測試的要求，如待測成分，送樣信息等（見送樣記錄單），如果樣品有易變性（如被氧化，吸附等），易熔化等情況應(yīng)說明清楚（可在送樣記錄單中說明）；

（9）初次實驗需要決定分析條件情況，送樣者若能到場，可能有助于測試的進(jìn)行。 

儀器說明

儀器名稱：飛行時間二次離子質(zhì)譜儀；

生產(chǎn)廠家：德國ION-TOF GmbH

儀器型號：TOF SIMS 5 配備高效電子中和槍，可精確分析絕緣材料；分析源配備Bi源分析槍（LMIG）及氬原子團(tuán)簇離子槍（GCIB），濺射源配備O源、Cs源及GCIB。