創(chuàng)新點(diǎn)
◎無二的光斑可視系統(tǒng)(技術(shù)): Auto SE 集成了無二的MyAutoView光斑可視系統(tǒng)(技術(shù)),該系統(tǒng)配備在標(biāo)準(zhǔn)橢圓偏振光譜儀中,允許操作者全程觀測(cè)樣品光斑,以確保各種類型的樣品都能在*正確的位置,以合適的光斑尺寸進(jìn)行測(cè)量。解決了現(xiàn)有測(cè)量技術(shù)中的“盲測(cè)”難題。
◎一鍵式操作,大大提高工作效率。
◎共焦微光斑技術(shù): 提供8種不同光斑尺寸的自動(dòng)選擇。
◎全自動(dòng)智能診斷及故障處理:大大減輕了設(shè)備的維護(hù)負(fù)擔(dān)。
儀器簡介:
新型的全自動(dòng)薄膜測(cè)量分析工具,工業(yè)化設(shè)計(jì),操作簡單,可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動(dòng)測(cè)量和分析,并輸出分析報(bào)告。是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。
技術(shù)參數(shù):
·光譜范圍:450-1000 nm
·多種微光斑自動(dòng)選擇
·光斑可視技術(shù),可觀測(cè)任何樣品表面
·CCD探測(cè)器
·自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm
·70度角入射
主要特點(diǎn):
·*自動(dòng)化設(shè)計(jì),一鍵式操作,直接報(bào)告輸出
·液晶調(diào)制技術(shù),測(cè)量光路中無運(yùn)動(dòng)部件
·CCD探測(cè)系統(tǒng),快速全譜輸出
·多個(gè)微光斑尺寸選擇,可視技術(shù)
·封閉式樣品倉