創(chuàng)新點
◎無二的光斑可視系統(tǒng)(技術): Auto SE 集成了無二的MyAutoView光斑可視系統(tǒng)(技術),該系統(tǒng)配備在標準橢圓偏振光譜儀中,允許操作者全程觀測樣品光斑,以確保各種類型的樣品都能在*正確的位置,以合適的光斑尺寸進行測量。解決了現(xiàn)有測量技術中的“盲測”難題。
◎一鍵式操作,大大提高工作效率。
◎共焦微光斑技術: 提供8種不同光斑尺寸的自動選擇。
◎全自動智能診斷及故障處理:大大減輕了設備的維護負擔。
儀器簡介:
新型的全自動薄膜測量分析工具,工業(yè)化設計,操作簡單,可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動測量和分析,并輸出分析報告。是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。
技術參數(shù):
·光譜范圍:450-1000 nm
·多種微光斑自動選擇
·光斑可視技術,可觀測任何樣品表面
·CCD探測器
·自動樣品臺尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自動調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm
·70度角入射
主要特點:
·*自動化設計,一鍵式操作,直接報告輸出
·液晶調(diào)制技術,測量光路中無運動部件
·CCD探測系統(tǒng),快速全譜輸出
·多個微光斑尺寸選擇,可視技術
·封閉式樣品倉