RQCM - 石英晶體微天平研究系統(tǒng)
晶體頻率、質(zhì)量和電阻測(cè)量
RQCM 是一種非常*的方法，用于測(cè)量薄膜在沉積、溶解或滲透過程中的性能。*多可以同時(shí)測(cè)量 3 顆晶體，質(zhì)量分辨率小于 0.4 ng/cm2。所有數(shù)據(jù)都使用集成的基于 Windows 的軟件實(shí)時(shí)加以記錄并以圖形顯示。
功能
- *多同時(shí)測(cè)量 3 顆晶體
- 測(cè)量分辨率小于 0.4 ng/cm2
- 頻率范圍：3.8 - 6 MHz、5.1 - 10 MHz
- 支持重荷晶體
- 電容消除
- 電絕緣晶體電極
- 板載數(shù)據(jù)采集
- 控制輸入和輸出
- 包括基于 Windows 的集成式軟件
研究晶體支架
輕松可靠的晶體更換設(shè)計(jì)
CHC/CHK/CHT-100 晶體支架設(shè)計(jì)，可浸入液體中使用。這類晶體支架為用戶的 QCM 實(shí)驗(yàn)提供了一個(gè)堅(jiān)固耐用且易于使用的石英晶體殼體。無縫結(jié)構(gòu)、三種耐化學(xué)腐蝕材料的選擇以及采用一個(gè) O 形圈密封晶體的設(shè)計(jì)都使得這類支架能夠在寬廣溫度范圍內(nèi)的各種氣體和液體中使用?？刹鹦秺A持器允許輕松更換晶體。精致小巧的支架可以使用直徑為 1 英寸的傳感器晶體。
功能
- 晶體更換方便
- 結(jié)構(gòu)堅(jiān)固
- 設(shè)計(jì)小巧
- 與液體兼容
用于液體應(yīng)用的石英監(jiān)控器晶體
標(biāo)準(zhǔn) AT 切割的 1 in. (25.4 mm) 直徑晶體主要用于 INFICON RQCM（石英晶體微天平研究系統(tǒng)） 和 PLO-10i 系統(tǒng)的研究應(yīng)用。 這些研究晶體設(shè)計(jì)用在 INFICON 牢固且使用方便的晶體支架上， 對(duì)沉積薄膜或液體進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)控。
