德國BUSCH廢氣處理系統(tǒng)
普旭真空為半導(dǎo)體、LCD及相關(guān)行業(yè)提供了應(yīng)用廣泛的新一代廢氣處理系統(tǒng)。高效的廢氣處理技術(shù)提供凈化到閾限值以下的氣體，同時滿足現(xiàn)有的和發(fā)展中的要求。
產(chǎn)品型號
Technology | Model | Capacity（SLM） | Applications | Gas |
Flameless Catalytic （AFC） | AFC 0500A | 500 | PE-CVD, HDP-CVD, ALD(NF3), AMOLED 6G CVD | Flammable gases，water-soluble gases |
AFC 2000A | 2000 | AMOLED 6G CVD | ||
Wet-Plasma-Wet（APW） | APW 0500A | 500 | etch for PFCs | |
Burn-Wet （ABW) | ABW 0500A | 500 | CVD,etch for PFCs | |
Thermal-Wet （ATW) | ATW 0500A | 500 | ALD,CVD,DIEF | |
ATW 1000A | 1000 | ALD,CVD,DIFF,LCD | ||
ATW 3500A | 3500 | MO-CVD,EPI, LCD(7G) | ||
ATW 4000A | 4000 | MO-CVD,EPI, LCD(>8G) | ||
Wet(AWE) | AWE 0500A | 500 | metal etch | water-soluble gases |
AWE 0500AE | 500 | EPI(DCS,TCS) | ||
Semi-Dry (ASD) | ASD 0800A | 800 | etch for cost-saving |
無焰催化處理技術(shù)（AFC）
AFC是結(jié)合了無焰催化熱氧化和濕法處理技術(shù)的高溫催化劑系統(tǒng)。用于 集成到高效單一系統(tǒng)中，旨在減少易燃，水溶性氣體并使NF3可容納高達(dá)3000SLM的高氣流。
技術(shù)特點：
??在半導(dǎo)體應(yīng)用和AMOLED流程中（使用大量生成氣體和NF3的粉末）非常適合CVD工藝（使用NF3作為吹掃氣體）。
??金屬蝕刻應(yīng)用的上佳解決方案。
??由于電加熱器和廢氣反應(yīng)熱，催化劑區(qū)域始終保持高溫，而沒有燃燒額外的燃料（LNG）。
??減少NOx生成
??粉末和水溶性氣體被捕獲在多級潤濕區(qū)中
??降低了運行成本
??易于維護(hù)和濾芯更換
??觸摸屏顯示
濕法-等離子-濕法處理技術(shù)（APW）
APW是一個集成于單一系統(tǒng)的濕法-等離子-濕法處理技術(shù)的組合，是氧化物和多晶硅蝕刻工藝應(yīng)用的理想選擇。
技術(shù)特點：
??新濕法等離子分離設(shè)計
??耐用的反應(yīng)堆等離子炬和電源設(shè)計
??具有高氣體DRE（％）的穩(wěn)定性能
??在廢氣進(jìn)入等離子反應(yīng)器之前，先將副產(chǎn)物和水溶性氣體進(jìn)行預(yù)濕區(qū)去除
??有效減少CF4，C2F6，SF6等PFCs
??核心零件的使用壽命長和維護(hù)周期
??易于清潔和預(yù)防性維護(hù)
??觸摸屏顯示
燃燒-濕法處理（ABW）
ABW是集成于單一系統(tǒng)中燃燒和濕法處理技術(shù)的組合，旨在有效減少PFCs，是CVD和蝕刻工藝應(yīng)用的理想選擇。
技術(shù)特點：
??新快速燃燒濕室分離設(shè)計
??多個安全聯(lián)鎖
??燃燒室?guī)в兴浔跈C制的湍流火焰
??燃燒過程中可能產(chǎn)生的粉末和水溶性氣體被捕獲在多級潤濕區(qū)
??有效減少CF4，C2F6，SF6等PFCs
??性能穩(wěn)定
??運行成本低
??易于清潔和預(yù)防性維護(hù)
??觸摸屏顯示
熱式-濕法處理技術(shù)（ATW）
技術(shù)特點：
ATW將電熱和濕法處理技術(shù)結(jié)合在一個系統(tǒng)中，該系統(tǒng)旨在容納高達(dá)4000SLM的總氣流，是重粉生成和腐蝕性應(yīng)用的理想選擇。
??新快速熱濕室分離設(shè)計
??多個安全聯(lián)鎖
??兩種減排方法的組合，即熱濕法（通過易燃和發(fā)火性氣體的無焰熱氧化改變工藝氣體的化學(xué)性質(zhì)）和水溶解（對于水溶性氣體）
??易于清潔和預(yù)防性維護(hù)
??觸摸屏顯示
濕法處理技術(shù)（AWE）
技術(shù)特點：
AWE濕式洗滌器是適應(yīng)高H2和金屬粉末生成應(yīng)用的理想選擇。
??金屬蝕刻應(yīng)用的上佳解決方案
??極高的安全性和正常運行時間
??四個獨立的反應(yīng)室，配備智能入口防止堵塞功能和強大的文丘里管裝置
??內(nèi)置水循環(huán)系統(tǒng)
??降低了運營成本
??觸摸屏顯示
