- 特點(diǎn)
- 用途
- 技術(shù)參數(shù)
1.在線檢測(cè),方便快捷;
2.大尺寸檢測(cè)空間,適應(yīng)在線整盤加工元件的數(shù)字化品控。
光學(xué)元件加工過(guò)程在線檢測(cè),并實(shí)時(shí)給出面型測(cè)試數(shù)據(jù),指導(dǎo)精確加工。
測(cè)量結(jié)構(gòu):斐索干涉立式結(jié)構(gòu)
通光口徑:Φ150mm
光源波長(zhǎng):632.8nm(進(jìn)口氦氖激光光源)
平面標(biāo)準(zhǔn)鏡:材料:石英;面型精度PV:λ/20
數(shù)字CCD:CCD分辨率1K*1K
對(duì)準(zhǔn)方式:兩點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)
對(duì)準(zhǔn)視場(chǎng):±2°
相移解相方式:機(jī)械相移解相
干涉儀測(cè)試空間尺寸:410mm(長(zhǎng))*410mm(寬)*210mm(高)