- 特點(diǎn):
- 用途:
- 技術(shù)參數(shù):
成像質(zhì)量良好,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔
立式結(jié)構(gòu)
操作方便,使用簡(jiǎn)單
波長(zhǎng)調(diào)諧式條紋分析系統(tǒng)
測(cè)量光學(xué)平面面型精度
測(cè)量光學(xué)元件的材料均勻性
對(duì)干涉條紋進(jìn)行數(shù)據(jù)分析處理,給出檢驗(yàn)報(bào)告
測(cè)量結(jié)構(gòu):菲索干涉臥式結(jié)構(gòu)
通光口徑:小端口:φ100mm;大端口二:φ300mm
測(cè)試光源:半導(dǎo)體調(diào)諧激光光源,λ=632.8nm;
相機(jī):分辨率1024×1024
φ100mm標(biāo)準(zhǔn)楔形鏡(TF鏡):PV優(yōu)于λ/20(φ100mm內(nèi))
φ300mm標(biāo)準(zhǔn)楔形鏡(TF鏡):PV優(yōu)于λ/20;
φ300mm標(biāo)準(zhǔn)反射鏡(RF鏡):PV優(yōu)于λ/20;
系統(tǒng)精度:PV值 λ/20;
系統(tǒng)重復(fù)性精度:RMS重復(fù)性優(yōu)于λ/2000;
ZOOM變焦:1-6X連續(xù)變焦;
測(cè)試對(duì)準(zhǔn)方式與角度:快對(duì)準(zhǔn)與精密對(duì)準(zhǔn)方式,對(duì)準(zhǔn)角度≥±15°/±3°
尺寸:2400×1200×500mm
重量:約260Kg