概述
Edwards HT10(ANSI10/ISO320 進(jìn)氣口)擴(kuò)散泵可用于高、低負(fù)荷的工業(yè)應(yīng)用。構(gòu)造堅(jiān)固,即使在高壓條件下也提供的抽速。機(jī)械加工的鑄造鋁制內(nèi)核可提供穩(wěn)定的性能,不銹鋼的泵體具有防腐蝕的特性,可以制程清潔度。這些泵可在 4 × 10-3 mbar 時(shí)提供的吞吐量(壓力乘以抽速),適合涉及大量氣體的工業(yè)制程。
應(yīng)用
- 真空冶金
- 蒸餾、干燥和脫氣
- 薄膜覆層和噴鍍
- 大型研究活動(dòng)
功能和優(yōu)勢(shì)
- 與同等尺寸的泵相比,吞吐量高
- 與同等尺寸的泵相比,轉(zhuǎn)換壓力快
- 的大前級(jí)壓力和對(duì)氣體激增的耐受性
- 與同等尺寸的泵相比,具有的抽速
- 集成的冷卻帽,可實(shí)現(xiàn)佳性能和極低的回流
- 針對(duì)低壓的自行分餾
- 易于更換的加熱器組件
數(shù)據(jù)
相對(duì)抽速 | 4650 ls-1 |
ISO 抽速? | |
氮?dú)?/td> | 3000 ls-1 |
氦氣 | 4650 ls-1 |
AVS 泵送 | |
氮?dú)?/td> | 3330 ls-1 |
氦氣 | 5165 ls-1 |
大吞吐量(氮?dú)猓?/td> | 10 mbar ls-1 |
7.5 Torr ls-1 | |
臨界前級(jí)壓力 (DC704EU) | 1.1 mbar |
0.8 Torr | |
大吞吐量的對(duì)應(yīng)前級(jí)泵排量 | 60 m3h-1 |
35 ft3min-1 | |
的前級(jí)泵? | GV80,E2M80 |
的液體 | DC704EU |
液體充填量(干) | 1250 ml |
1.3 qt | |
進(jìn)氣口/前級(jí)連接 | ANSI10/ANSI12 或 EO12 inch/EO130 mm 或 ISO320/ISO63 |
水接頭 | 3/8 英寸 NPT 母頭 |
加熱器功率 | 5.1 kW |
6.8 hp | |
預(yù)熱時(shí)間 | 30 分鐘 |
冷卻水流量(25 °C 時(shí)) | 400 l h-1 |
1.8 US gal min-1 | |
冷卻水供給源兩端的壓力降 | 1 bar |
14.5 psi | |
重量 | 80 kg |
176 lbs |
? 通過總壓力測(cè)量獲得的 ISO 速度和吞吐量數(shù)據(jù)。部分壓力讀數(shù)通常使數(shù)據(jù)增加 ~30%。對(duì)于同一個(gè)泵,ISO 速度測(cè)量通常比 AVS 測(cè)量小 10%。
? 提供這些數(shù)據(jù)僅供參考,請(qǐng)聯(lián)系 Edwards 獲得適合您的應(yīng)用的泵組合建議。