概述
Edwards 半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的性和性能。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。
應(yīng)用
- 負(fù)載鎖
- 輸送
- 計(jì)量
- 平版印刷
- PVD 制程
- PVD 預(yù)清潔
- RTA
- 剝離/灰化
- 刻蝕
- 植入源
- HDP CVD
- RTP
- SACVD
- MCVD
- PECVD
- LPCVD
- ALD
有關(guān)任何特定應(yīng)用條件下 iH 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議，請與 Edwards 聯(lián)系。
功能和優(yōu)勢
- 優(yōu)化了設(shè)施消耗。
- 無需預(yù)防性維護(hù)。
- 懸臂軸和的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
- 在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
- 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
- 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的。
- 整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。
數(shù)據(jù)
| 峰值速度 | 1800 m3h-1 |
| 1060 cfm | |
| 30000 l min-1 | |
| 極限真空 | 1 x 10-3 mbar |
| 7.5 x 10-4 Torr | |
| 0.1 Pa | |
| 典型軸封氮流量 | 4 slm |
| 進(jìn)氣口連接 | ISO160 |
| 連接 | NW40 |
| 15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 240 l h-1 |
| 4 l min-1 | |
| 重量 | 502 kg |
| 極限功率輸入 | 4.1 kW |
| 電機(jī)額定功率 | 7.0 kW |
| 油容量 | 1.6 l |
數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值。
