iH1000 iH1000 半導體干式真空泵

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型號iH1000
品牌
所在地上海
更新時間2022-07-24

上海赫哲真空設(shè)備有限公司

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
入駐年限第1年
實名認證已認證
產(chǎn)品數(shù)量672
人氣值751

產(chǎn)品標簽

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產(chǎn)品簡介在線詢價

Edwards 半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的性和性能。 iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。

iH1000 半導體干式真空泵產(chǎn)品詳情

概述

Edwards 半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的性和性能。

iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。

應(yīng)用

負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

有關(guān)任何特定應(yīng)用條件下 iH 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議，請與 Edwards 聯(lián)系。

數(shù)據(jù)

峰值速度	1000 m3h-1
	589 cfm
	16670 l min-1
極限真空	1 x 10-3 mbar
	7.5 x 10-4 Torr
	0.1 Pa
典型軸封氮流量	4 slm
進氣口連接	ISO100
連接	NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量	240 l h-1
	4 l min-1
重量	430 kg
極限功率輸入	3.8 kW
電機額定功率	6.1 kW
油容量	1.48 l

數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。

關(guān)鍵詞：真空泵標準

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