氣體質(zhì)量流量控制器ZHC09
產(chǎn)品特性:
*支持多種通訊協(xié)議
*高精度、高穩(wěn)定性
*可控制多種氣體
*可選配控制設(shè)備同時控制多臺
*可控制瞬時流量和累積流量
*安裝容易 操作簡單 方便維護(hù)
應(yīng)用領(lǐng)域:
*分析儀器 *生物技術(shù) *真空鍍膜
*氣相色譜 *激光焊機 *化學(xué)化工實驗室
安裝尺寸:
技術(shù)參數(shù):
1 | 流量規(guī)格 | (0^5、10、50、100、300、500)SCCM , (1、2、3、4、5)SLM |
2 | 控制和顯示精度 | 0.1sccm |
3 | 準(zhǔn)確度 | + 0.5% F.S. |
4 | 線性度 | + 1% F.S. |
5 | 重復(fù)精度 | + 0.5% F.S. |
6 | 響應(yīng)時間 | < 1s |
7 | 工作壓差 | 0--1MPa |
8 | 耐壓 | 1.1MPa |
9 | 環(huán)境溫度 | 0-70℃ |
10 | 電氣連接 | Db9(公頭) |
11 | 供電電源 | 15-40VDC |
12 | 模擬量 | DC 0-5V |
13 | 數(shù)字量 | RS485、RS232、RS422、CAN總線 |
14 | 氣路接頭 | 4mm、6mm、M8*1 |
15 | 氣路管徑 | 3mm、3.2mm、4mm、6mm |
16 | 氣體種類 | Air He Ar N2 O2 H2 NO CO CH4 CO2 NO2 N2O NH3 |
電氣連接:
RS485 | RS232 | RS422 | CAN總線 | |
PIN 1 | VCC | VCC | VCC | VCC |
PIN 2 | Set | Set | Set | Set |
PIN 3 | Moniter | Moniter | Moniter | Moniter |
PIN 4 | None | None | Z | None |
PIN 5 | GND | GND | GND | GND |
PIN 6 | None | None | Y | None |
PIN 7 | B | TX | B | CANH |
PIN 8 | A | RX | A | CANL |
PIN 9 | DGND | DGND | DGND | DGND |
產(chǎn)品型號表示:
ZHC09-①-②-③
注: ①=數(shù)字協(xié)議(RS485/RS232/RS422/CAN),
②=氣體類別(Ar/O2/H2/CO2/Air等)
③=流量量程
范例:ZHC09-RS485-Air-500