MFC的控制器儀表是專門針對(duì)本公司產(chǎn)品ZHC09開發(fā)的一款氣體瞬時(shí)流量/流量累積量控制的工控產(chǎn)品,與MFC配合使用可以手動(dòng)/自動(dòng)控制氣體瞬時(shí)流量輸出,
手動(dòng)/自動(dòng)循環(huán)控制氣體流量累積量的輸出,含一路可編程的輸入控制端口,一可編程的LED和一固定的LED顯示。
一個(gè)儀表可以同時(shí)控制及顯示最多16臺(tái)MFC,相對(duì)MFC的配置支持掉電保存。
機(jī)械尺寸
技術(shù)指標(biāo)
瞬時(shí)流量控制范圍:0~500sccm
瞬時(shí)流量控制及顯示精度:0.1sccm
累積流量控制范圍:0~65L
累積流量控制及顯示精度:1mL
環(huán)境溫度:0~65℃
通訊協(xié)議:CAN總線(帶電氣隔離)
輸入控制:光電隔離輸入
輸出控制:集電極開路輸出
電源:8~40VDC