Nagoya名古屋NXI-3700半導(dǎo)體級(jí)3DX線超高解析度自動(dòng)檢查機(jī)特點(diǎn)簡介:
· 自動(dòng)檢查功能 Through hole中銅電鍍檢查 C4焊錫球檢查
· 開放型納米焦點(diǎn)X線管 管電壓:20kV-160kV 最小分辨率:0.25μm
· FPD 600萬像素/1.1.800萬像素 分辨率:0.25 μm-10μm/0.25-23.5μm
· 傾斜式CT方式
Nagoya名古屋NXI-3700半導(dǎo)體級(jí)3DX線超高解析度自動(dòng)檢查機(jī)規(guī)格參數(shù):
項(xiàng)目 | 參數(shù) |
對(duì)應(yīng)工件尺寸 | W50×L50~W515×L610mm |
檢查工件領(lǐng)域 | W475×L570mm |
對(duì)應(yīng)工件厚度 | 0.1-0.3mm |
對(duì)應(yīng)工件重量 | 2.0kg以下 |
部品高度 | 基板上40mm |
X線發(fā)生管 | 開放型納米焦點(diǎn) |
管電壓 | 20-160kv |
管電流 | 0-200μA |
最小分辨率 | 0.25μm |
X線檢出器 | 垂直:FPD 600萬像素/傾斜:1.1.800萬像素 |
分辨率 | 垂直:0.25-10μm/傾斜:0.25-2.5μm |
空氣壓力 | 0.5MPa |
電源電壓 | AC 220V±10%,單相50/60Hz |
消費(fèi)電壓 | 10kVA以下 |
使用環(huán)境條件 | |
周圍溫度 | 22℃±2℃ |
濕度 | 50%±10%RH (無結(jié)露) |
床振動(dòng) | 振幅2μm以下 |
X線泄露量 | 低于0.5μSv/h |
外形尺寸 | W1780×D2530×H2000mm |
重量 | 約7500kg |
Nagoya在線型3DX線自動(dòng)檢查設(shè)備NXI-3700可選功能
· 通過系統(tǒng)傳輸獲得PC 自動(dòng)檢查時(shí)所獲取斷層圖片,對(duì)于不良部品可以進(jìn)行確認(rèn)并編輯
· 3D合成軟件可對(duì)X線的斷層圖片進(jìn)行編輯并合成