HTMS-1000型高低溫方阻測(cè)試系統(tǒng)
一、 產(chǎn)品介紹:
HTMS-1000型高低溫方阻測(cè)試系統(tǒng)是一款用于測(cè)量半導(dǎo)體薄膜和薄片的導(dǎo)電性能的測(cè)試系統(tǒng),產(chǎn)品應(yīng)用范圍廣,能夠滿足導(dǎo)電功能薄膜材料、半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電玻璃材料、石墨烯等其它導(dǎo)電材料的測(cè)試需求;可以在高溫、真空氣氛的條件下測(cè)量半導(dǎo)體材料電阻和電阻率,可以分析被測(cè)樣品電阻和電阻率隨溫度、時(shí)間變化的曲線??梢栽诟邷亍⒄婵諝夥盏臈l件下測(cè)量半導(dǎo)體材料電阻和電阻率,可以分析被測(cè)樣品電阻和電阻率隨溫度、時(shí)間變化的曲線。
一、產(chǎn)品主要特點(diǎn):
1.產(chǎn)品采用高精度源表設(shè)計(jì),測(cè)試范圍寬,測(cè)量精度高,能夠?qū)崿F(xiàn)電阻率、電導(dǎo)率的測(cè)量
2.控溫范圍廣,可以從室溫到-1000度可控
3.可實(shí)現(xiàn)常溫、高溫、恒溫條件的測(cè)試,具備I-V、R-T、R-t等測(cè)試項(xiàng)目
4.最慢升溫速率不低于10℃/min,且升溫速率從0至Z高升溫速率線性可調(diào);
5.具備加熱故障監(jiān)視診斷功能,需保證使用過(guò)程的安全;
6.支持實(shí)時(shí)測(cè)試結(jié)果顯示,帶USB接口,方便數(shù)據(jù)拷貝與傳輸;
二、產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù):
1、控溫范圍;-150 ℃-1000 ℃,精度:-150 ℃-1000 ℃,精度±1 ℃
2、測(cè)量范圍:電 阻:1×10-6~1×10-1 Ω , 分辨率:1×10-7Ω
電阻率:1×10-7~1×10-2 Ω-mm, 分辨率:1×10-8
3、 材料尺寸:200mm*5mm*1mm,500mm*5mm*1mm,1000mm*5mm*1mm
4、 四線探針;0.5 mm-0.7mm
5、夾具:針對(duì)不同的樣品可以設(shè)計(jì)不同的夾具
6、外形尺寸:主 機(jī) 1300mm(長(zhǎng))×800 mm(寬)×500mm(高)
7、凈 重:≤60kg