關(guān)鍵詞:納米晶、工具涂層、金剛石涂層、熱絲化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、HFCVD、UNCD、NCD、摻雜
超納米晶、金剛石刀具、MEMS、光學(xué)窗口、熱沉片、cutting tools、微機電系統(tǒng)、B-doping
熱絲化學(xué)氣相沉積(Hot Filament Chemical Vapor Deposition System namely HFCVD)方法常常應(yīng)用于工具表面的金剛石涂層、熱沉金剛石片及自支撐超納米晶金剛石薄膜的合成;其應(yīng)用于機械工具、微機電系統(tǒng)(MEMS),光學(xué)窗口等。
我們提供熱絲化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(HFCVD system),適合于:
1. 合成各種厚度和大面積的超納米晶(ultra-nanocrystalline diamond coating/film/wafer;UNCD)、納米晶(nanocrystalline diamond coating/film/wafer;NCD)、微米晶(microcrystalline diamond coating/film/wafer;MCD)金剛石;有效沉積面積可以達(dá)到0.5m2;
2. 可以在不同工具形狀表面沉積,例如沉積3D diamond coatings 或者diamond dome;
3. 也可以用于摻雜研究(例如B-doping ),或多層膜結(jié)構(gòu)研究及生產(chǎn);
4. 應(yīng)用于各種領(lǐng)域,例如cutting tools,metrology,thermal management等。
我們將根據(jù)您的需求,提供您應(yīng)用的配置;購買我們的設(shè)備,我們也將提供工藝服務(wù);如果您對我們的設(shè)備感興趣,請聯(lián)系我們!