Nikon分步投影光刻機(jī)NSR-S204B,用于集成電路生產(chǎn)過程中的微光刻工藝,通過投影成像方式,把掩模版上集成電路圖形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重復(fù)曝光在涂有膠層的硅片表面。
Nikon分步投影光刻機(jī)NSR-S204B含有硅片自動(dòng)傳輸系統(tǒng)、版庫自動(dòng)管理系統(tǒng)、可編程掩模光欄、自動(dòng)調(diào)焦調(diào)平、硅片自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、掩模板自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、鏡頭倍率及焦點(diǎn)自動(dòng)控制、曝光能量的自動(dòng)補(bǔ)整、腔體溫度環(huán)境控制、故障顯示報(bào)警等*功能。
NSR-S204B型分步投影光刻機(jī)基本工作過程:把曝光掩模和硅片分別裝入掩模庫和硅片承載臺(tái)以后;通過操作設(shè)備的控制系統(tǒng),使設(shè)備按照所需設(shè)定的制作程序自動(dòng)完成掩模、硅片的傳遞交換,并根據(jù)生產(chǎn)工藝需要進(jìn)行自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、自動(dòng)調(diào)焦調(diào)平、自動(dòng)掃描曝光等工作過程。
運(yùn)輸與保管
Nikon分步投影光刻機(jī)NSR-S204各部分重量:主機(jī)重量(凈重)7200Kg,溫調(diào)柜重量860Kg,傳送腔體重量850Kg,空調(diào)機(jī)重量650Kg,控制柜重量300Kg,BMU重量180Kg,變壓器重量160Kg
運(yùn)輸Nikon分步投影光刻機(jī)NSR-S204方式:采用半導(dǎo)體專用設(shè)備減震車運(yùn)輸。
Nikon分步投影光刻機(jī)NSR-S204對(duì)環(huán)境要求:溫度控制在19~24℃之間,濕度小于70%。
用戶在收到Nikon分步投影光刻機(jī)NSR-S204及其附件后,應(yīng)即刻運(yùn)送存放在滿足溫度、濕度要求的廠房?jī)?nèi),切勿露天或在溫濕度不受控的環(huán)境存放。
在運(yùn)輸Nikon分步投影光刻機(jī)NSR-S204過程中,應(yīng)避免沖擊和震動(dòng),輕搬輕放。嚴(yán)格要求具有防振、減震措施,搬運(yùn)過程中振動(dòng)不大于1G。